Occasion KLA / TENCOR 6420 Surfscan #9180714 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan plate-forme est un équipement de test et de métrologie des plaquettes tout-en-un de haute précision pour caractériser les propriétés électriques et les caractéristiques topographiques des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour améliorer le rendement des processus, augmenter le contrôle des processus et assurer la performance des appareils. Le système KLA 6420 Surfscan est construit sur une plate-forme modulaire, nécessitant une unité de mesure in situ sophistiquée en boucle fermée. L'instrument intègre la métrologie optique, la mesure électrique sans contact et l'inspection des plaquettes. Il produit la mesure simultanée des propriétés électriques et de la topographie des plaquettes jusqu'à 5 sites sur une plaquette. TENCOR 6420 Surfscan est alimenté par la technologie KLA InSight, une plate-forme de métrologie intégrée qui combine la microscopie électronique à balayage, la microscopie confocale, la métrologie quantitative de surface et la mesure électrique. Cette technologie fournit des mesures complètes de haute résolution qui quantifient les propriétés électriques et la morphologie de surface de la plaquette. L'outil est également capable de mesures simultanées sur plusieurs sites de la plaquette. La mesure électrique in situ des propriétés électriques est obtenue à l'aide du module Prometric 6420 wafer. Ce module est capable d'effectuer des mesures électriques in situ sans contact et à faible force sur des plaquettes même de 4 pouces de diamètre. Ce module peut mesurer les signaux haute et basse fréquence à travers la plaquette pour identifier des paramètres électriques tels que la tension de décharge de charge, les voies de courant, la résistivité de surface, la constante diélectrique, la fuite et la capacité. Les capacités de métrologie optique de 6420 Surfscan fournissent un profil topographique et de surface précis et précis sur la plaquette. Ce module utilise une suite exclusive de sources lumineuses et d'optiques de précision pour mesurer avec précision la rugosité de surface, la texture de surface et l'épaisseur des plaquettes. Il est également capable d'effectuer des balayages métrologiques de haute et de faible puissance sur les profils de surface et de hauteur de la plaquette. Les scans intégrés d'inspection optique et électrique des plaquettes fournissent aux utilisateurs des données détaillées sur les anomalies ou les défauts de la plaquette. L'analyse des défauts visuels de l'actif effectue une inspection automatique complète de 270 degrés de la surface de la plaquette à la recherche d'anomalies. Les contaminants ou les défauts peuvent être identifiés, classés et suivis au cours du processus. Prométrique TENCOR PROMETRIX 6420 Surfscan plate-forme est un modèle polyvalent de test de plaquettes et de métrologie qui est capable de fournir une analyse électrique et métrologique précise et complète. Il permet aux fabricants d'assurer des performances électriques et topographiques correctes de leur plaquette, améliorant ainsi les rendements des procédés et les performances des appareils.