Occasion KLA / TENCOR 6420 #293609510 à vendre en France

KLA / TENCOR 6420
ID: 293609510
System.
KLA/TENCOR 6420 est un équipement d'essai et de métrologie de nouvelle génération conçu pour assurer une inspection complète sans contact dimensionnel sur toute la surface de la plaquette avec une précision améliorée. Le système est optimisé pour des performances de production élevées et supporte les derniers diamètres de plaquettes. Il dispose d'un détecteur d'imagerie propriétaire calibré qui fournit une véritable imagerie topographique en ligne, permettant une analyse de rendement de processus très précise. KLA 6420 est fabriqué avec un design modulaire qui simplifie l'installation et l'entretien. Il dispose d'une plate-forme d'accès monoplace robuste qui réduit les exigences d'empreinte par rapport aux systèmes d'accès traditionnels à deux faces. Les étages motorisés AC en option assurent un alignement dynamique supérieur et permettent des accélérations plus élevées et un débit plus rapide. Les étages disposent d'un codeur optique avancé et d'une résolution nanométrique, offrant des valeurs d'alignement et de mesure très précises et reproductibles dans l'ensemble de la plaquette. TENCOR 6420 intègre également une machine d'imagerie à haut rendement, qui comprend des capteurs intelligents avancés de traitement frontal et numérique du signal. Cela permet une capture d'image rapide, précise et en plein champ avec une résolution jusqu'à un niveau de sous-micron. L'outil d'imagerie fournit un double alignement simultané, permettant à l'utilisateur de cartographier la surface complète de la plaquette au niveau du pixel sans attendre qu'une carte finisse de se former. Pour maximiser encore la précision et le rendement de la mesure, le 6420 utilise une technique de métrologie optique in situ, appelée AugerScan™, qui utilise des électrons à compteur pour détecter des caractéristiques de surface en trois dimensions. La technologie AugerScan est également utilisée pour déterminer le rendement du procédé avec une répétabilité supérieure à 0,01 ppm. Combiné à son traitement d'image avancé, cet actif permet une caractérisation supérieure des processus et une analyse des défauts. La 6520 est équipée d'une suite d'outils logiciels avancés pour le stockage et le traitement des données. Il propose des examens de mesure détaillés, complétés par des affichages graphiques et des analyses complètes pour une gestion globale du rendement. Le modèle offre également un accès complet à distance depuis n'importe quel PC en réseau, permettant aux utilisateurs de surveiller les valeurs de mesure et les données de performance à partir de n'importe quel endroit. KLA/TENCOR 6420 est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs et les installations à la recherche d'un équipement fiable et performant pour les essais et la métrologie. Grâce à ses capacités d'imagerie et de détection avancées, sa grande précision et ses mesures répétables, ce système offre une analyse rapide et fiable des rendements des processus et l'identification des défauts. Dans l'ensemble, KLA 6420 est une unité idéale pour les besoins d'essais de plaquettes et de métrologie.
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