Occasion KLA / TENCOR 6420 #293656103 à vendre en France

KLA/TENCOR 6420 est un équipement avancé d'essai et de métrologie de plaquettes qui peut analyser jusqu'à 8 plaquettes en parallèle. Il est doté d'une combinaison ultra haute résolution d'interférométrie optique, de microscopie confocale et d'autres technologies d'imagerie. Le système peut mesurer plusieurs paramètres d'un seul appareil ou plusieurs structures sur une seule plaquette avec une grande précision en quelques minutes seulement. L'unité d'essai et de métrologie comprend un interféromètre tridimensionnel de haute précision qui mesure à la fois la topographie de surface et l'épaisseur des couches minces optiques. La machine dispose également d'un détecteur double qui offre une flexibilité extrême dans l'analyse d'une variété de structures différentes qui peuvent exister sur la plaquette. Il peut mesurer des caractéristiques telles que la résistivité, l'épaisseur de dimension critique, etc. Les outils à bord de KLA 6420 offrent également une puissante gamme de capacités d'analyse de données qui peuvent aider à identifier les défauts structurels, électriques et lithographiques dans de multiples dimensions. Il est capable d'extraire des informations d'angle de hauteur et de flanc, d'analyser les pics de vallée et de calculer la courbure et la rugosité. Il est également équipé d'une technologie de détection synchrone d'impulsions, permettant l'acquisition simultanée de multiples paramètres de mesure topographique à partir de diverses structures. TENCOR 6420 dispose également d'une interface utilisateur graphique sophistiquée qui simplifie le processus d'acquisition de données. Il peut exécuter plusieurs tests de plaquettes simultanément, tout en affichant des données, des graphiques et des images des mesures qu'il a faites. L'outil offre également une variété de logiciels différents, tels que des logiciels pour la génération de cartes CMP (Chemical Mechanical Pollishing), qui peuvent être utilisés pour analyser la planarité sur toute la surface d'une plaquette. Puissant et polyvalent, le 6420 est un atout haut de gamme en matière d'essais de plaquettes et de métrologie qui fournit des données précises et fiables sur plusieurs paramètres d'essai, permettant aux ingénieurs de production et au personnel de R-D d'identifier rapidement les défauts de l'appareil ou de la structure.