Occasion KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685 à vendre en France
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ID: 293658685
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Wafer inspection system, 6"
Blower
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7600 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de premier plan spécialement conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. KLA 7600 Surfscan est équipé de systèmes de pointe, tels qu'un système optique avancé, pour l'inspection des plaquettes haute résolution, la mesure de profondeur 3D et le contrôle lithographique du processus de production des semi-conducteurs. L'unité optique avancée de TENCOR 7600 Surfscan a une NA de 0,35 et un grand champ de vision (FOV) jusqu'à 4mm. Ceci permet de détecter des défauts avec une haute résolution et précision, même à des vitesses plus élevées. En outre, la machine optique peut être combinée avec un interféromètre laser intégré pour une métrologie 3D sans contact de haute précision. Cela permet une métrologie complète de la plaquette, comme la topographie, les hauteurs de défaut et les mesures de planéité de la plaquette. Cette technologie utilise des algorithmes de reconnaissance de motifs pour distinguer les particules, les anomalies de gravure, les défauts de structure et de sous-surface. KLA/TENCOR 7600 L'outil de métrologie de Surfscan a été conçu pour offrir une précision et une répétabilité maximales. Il utilise un détecteur RVB haute résolution, un angle de faisceau réglable et des filtres couleur contrastés élevés pour effectuer une gamme de mesures et d'analyses sophistiquées de plaquettes. Cet actif est également capable de détecter plusieurs couches et types de défauts, y compris les vides, les puits, les saillies, les variations de profondeur et les pentes. KLA 7600 Surfscan offre des temps de fonctionnement exceptionnels et rapides pour le traitement des plaquettes. Il a été conçu avec une technologie de pointe, y compris un modèle de manutention des plaquettes de haute précision, des composants de contrôle, des logiciels et une puissante plate-forme d'automatisation. Il peut inspecter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre et peut traiter jusqu'à 8 plaquettes par heure. Dans l'ensemble, TENCOR 7600 Surfscan est un outil très avancé pour le test de plaquettes et la métrologie. Avec son équipement optique spécialisé et son interféromètre laser intégré, il offre une détection de défaut supérieure, une métrologie 3D sans contact et une classification automatisée des défauts. 7600 Surfscan est un outil inestimable pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin de précision et de fiabilité pour leurs processus de production.
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