Occasion KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293662763 à vendre en France

ID: 293662763
Taille de la plaquette: 8"
Wafer inspection system, 8".
KLA/TENCOR 7600 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe utilisé pour la recherche et la caractérisation de surface des plaquettes et des surfaces diélectriques. Il repose sur des technologies interférométriques exclusives qui permettent au système d'évaluer avec précision les caractéristiques topographiques des surfaces telles que la planéité de la surface, le comptage des particules et les mesures de dimensions critiques. KLA 7600 Surfscan est conçu pour le contrôle des processus et l'inspection en ligne dans un environnement de fabrication de semi-conducteurs typique. Il présente une faible consommation d'énergie et peut être déployé dans un large éventail d'applications pour la mesure de la topologie et des défauts de surface de la plaquette. L'instrument fonctionne en mode sans contact, ce qui lui permet de sonder et d'imiter diverses surfaces diélectriques. Ses mesures topographiques de haute précision permettent de détecter les variations microscopiques des caractéristiques de surface telles que les hauteurs des marches, les surplombs, les tranchées et les rainures. L'unité est équipée d'outils d'analyse avancés qui facilitent la détermination des caractéristiques critiques de défaut telles que la taille et la distribution des particules, la largeur des lignes et la rugosité de surface réduite. Il dispose également de capacités de reporting intégrées qui permettent une comparaison facile des processus dans le temps et entre plusieurs plaquettes. En outre, TENCOR 7600 Surfscan peut être connecté à d'autres systèmes de contrôle de processus tels que les systèmes de mesure d'oxyde thermique, permettant aux utilisateurs d'intégrer le processus de mesure dans un flux de travail de contrôle de processus plus important. L'instrument comprend un capteur CCD/CMOS à haute résolution avec une résolution de 0,45 µm. Cela garantit le plus haut niveau de précision et de répétabilité pour l'analyse de surface. Il utilise également le traitement numérique du signal et la résolution 12 bits ou plus pour fournir une stabilité et des performances de dérive supérieures. 7600 Surfscan dispose de capacités de numérisation automatisées qui permettent aux utilisateurs de traiter rapidement et facilement plusieurs plaquettes. Ceci est particulièrement utile dans les applications de production où un grand nombre de plaquettes doivent être analysées rapidement et conformément aux normes de l'industrie. KLA/TENCOR 7600 Surfscan est une machine de test et de métrologie fiable et facile à utiliser qui fournit aux utilisateurs une précision et une répétabilité de mesure de pointe. Ses fonctionnalités et capacités avancées garantissent que le contrôle des processus et les essais en ligne sont effectués rapidement et efficacement, assurant des niveaux élevés de rendement et de qualité des appareils.
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