Occasion KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293747974 à vendre en France

KLA / TENCOR 7600 Surfscan
ID: 293747974
Patterned wafer inspection systems.
KLA/TENCOR 7600 Surfscan machine est un équipement sophistiqué d'essai de plaquettes et de métrologie. Spécialement conçue pour la production de semi-conducteurs, cette machine fournit des inspections de cartographie 2D sans contact haute résolution qui peuvent détecter et analyser les défauts potentiels sur les plaquettes semi-conductrices au niveau sub-micron. La machine utilise la technologie avancée de reconnaissance optique des caractères (OCR) pour détecter diverses surfaces de plaquettes. Le système offre des fonctionnalités telles que débit élevé, inspection haute résolution, reconnaissance des défauts de haute précision, champ de vision étendu, temps de cycle court, et un environnement Windows NT convivial. En fonctionnement, l'unité Surfscan KLA 7600 commence par un robot de sélection qui acquiert des plaquettes de la cassette d'entrée et les positionne sur le poste de manutention des plaquettes. La plaquette est ensuite inspectée par un tunnel d'alignement de stigmates intelligents, qui mesure précisément la topographie de surface pour déterminer l'emplacement exact des plaquettes sur la plaque d'essai. Une lame d'air déplace ensuite la plaquette dans le plan de mesure pour l'inspection de la machine. Des détecteurs optiques à haute sensibilité et à faible bruit sont utilisés pour détecter et mesurer les défauts des plaquettes à l'échelle des sous-microns. La technologie OCR avancée de la machine et les algorithmes intégrés fournissent une excellente précision de détection et différencient précisément les défauts critiques et non critiques. Les défauts jugés trop petits ou complexes pour être détectés peuvent être marqués et examinés dans une « boîte à outils ». L'imagerie haute résolution est réalisée par les quatre têtes de balayage de ligne de visée à grande vitesse de l'outil. Les têtes de balayage sont capables de fournir jusqu'à quatre lignes de données avec une résolution verticale jusqu'à 50nm. Ces têtes de balayage peuvent suivre la surface de la plaquette jusqu'à 6.5kHz taux de balayage. Enfin, TENCOR 7600 Surfscan est équipé d'un logiciel intuitif qui permet de visualiser les résultats des tests dans un simple affichage graphique. Toutes les données mesurées sont stockées sur place et peuvent être exportées ou transférées. 7600 Surfscan est un outil de test et de métrologie efficace et fiable. Sa combinaison d'une technologie d'inspection avancée et d'une interface utilisateur intuitive en fait un excellent choix pour toutes les opérations de production de plaquettes semi-conductrices.
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