Occasion KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293639668 à vendre en France
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ID: 293639668
Taille de la plaquette: 8"
Inspection system, 8"
Upgraded from SFS7500.
KLA/TENCOR 7600M Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de pointe conçu pour la production de plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour aider les fabricants de semi-conducteurs à augmenter leur rendement global et leur qualité de produit en fournissant des mesures plus précises et complètes de la surface de la plaquette, y compris les propriétés physiques et chimiques des matériaux déposés sur celle-ci. Le Surfscan 7600M comporte deux composantes principales : un système d'imagerie avancé au niveau des plaquettes et un sous-système de métrologie avancée. Son unité d'imagerie au niveau de la plaquette est capable de capturer des images à une résolution de 5 microns et de détecter des particules et des défauts jusqu'à 1 nanomètre. Il peut également lire et analyser un large éventail de caractéristiques de surface de plaquettes telles que la taille des grains, la rugosité de surface et les niveaux de contamination. Le sous-système de métrologie avancée de Surfscan 7600M comprend un module d'interférométrie avancée, une machine d'ellipsométrie à large bande et une station de balayage Die-to-Wafer. Le module d'interférométrie peut mesurer la topographie d'un échantillon en trois dimensions avec une résolution de 0,25 nanomètres. L'outil d'ellipsométrie à large bande peut mesurer les propriétés optiques d'un échantillon avec une résolution de 0,5 nanomètres, et la station de balayage Die-to-Wafer peut mesurer la taille, la forme et l'orientation d'un échantillon avec une précision inférieure à 0,1 nanomètre. Le Surfscan 7600M possède également un certain nombre de fonctionnalités avancées qui le rendent facile à utiliser et à intégrer dans une ligne de fabrication de semi-conducteurs moderne. Il est équipé d'un atout d'alignement automatisé qui aligne la plaquette sur le modèle pour des mesures précises. Il dispose également d'un équipement avancé de reconnaissance des plaquettes qui peut détecter et reconnaître jusqu'à 24 types différents de plaquettes. Enfin, il est livré avec une suite complète de logiciels pour fournir des capacités personnalisées d'analyse, de gestion des données et de rapport. En résumé, KLA 7600M Surfscan est un système avancé de test et de métrologie des plaquettes qui fournit aux fabricants de semi-conducteurs des mesures fiables et précises de la surface des plaquettes. Ses capacités d'imagerie et de métrologie de pointe, combinées à une gamme de fonctionnalités avancées, en font un outil inestimable pour améliorer le rendement des plaquettes et la qualité des produits.
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