Occasion KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610 à vendre en France
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes de haute performance. Équipé d'un étage puissant de microscopie optique, il peut mesurer et analyser les caractéristiques de surface des plaquettes et substrats semi-conducteurs. Le système est capable de fournir des résultats puissants, fiables et précis pour des applications de caractérisation routinières et complexes. Surfscan 7700 est actionné par un traitement d'image TMS200 double et un processeur d'analyse d'image. Il est équipé d'un étage de translation inclinée haute performance de 8 « x 8 » et d'une unité de comptage laser automatique à 4 niveaux. La plate-forme dispose également d'une machine à focalisation Z motorisée très sensible qui permet un réglage vertical précis et une plage de mesure précise allant jusqu'à 10 microns. Le surfscan 7700 offre une large gamme de capacités de métrologie de wafer incluant CD, Uniformité, Traçabilité, et mesures de profil. Il peut également mesurer quantitativement des paramètres historiques et dynamiques tels que la rugosité de surface, la hauteur moyenne, l'ondulation, la hauteur des marches, la micro-tranchée, la décantation et l'arc. L'outil est compatible avec une gamme d'accessoires optiques avancés, y compris des plates-formes de polarisation dynamique, des éclaireurs d'angle obliques, des générateurs de défauts artificiels et des éclaireurs de champ sombre. Il dispose également d'une bande lumineuse exclusive qui améliore encore l'uniformité de l'éclairage dans le champ de vision. En plus des capacités de métrologie des plaquettes, le surfscan 7700 offre également des capacités d'analyse des défauts des plaquettes. Il peut détecter divers types de défauts non visibles tels que des défauts de particules, des défauts structurels et des défauts d'interface. Grâce à ses systèmes de détection et de balayage haut de gamme, il peut détecter et compter avec précision les défauts de particules de taille inférieure à 200nm. Le Surfscan 7700 dispose également d'un outil de contrôle de rétroaction intégré avancé qui permet au modèle de s'adapter dynamiquement à l'évolution des conditions environnementales afin de maintenir une performance et une précision d'imagerie optimales. En outre, sa conception compacte permet une installation facile dans une variété de configurations de laboratoire. En résumé, KLA 7700 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes performant qui peut être utilisé pour la caractérisation de la surface des plaquettes, l'analyse des défauts des plaquettes et le contrôle de la rétroaction environnementale. Il offre une large gamme de fonctionnalités avancées, une excellente précision de mesure et répétabilité, une installation facile, et d'excellentes performances d'imagerie.
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