Occasion KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293654401 à vendre en France
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KLA/TENCOR SFS 7700 est un équipement automatisé de métrologie et d'essai de plaquettes conçu pour permettre une métrologie en ligne avancée et l'analyse des défaillances pendant le processus de fabrication et de fabrication des semi-conducteurs. Ce système fournit à la fois une imagerie tridimensionnelle haute résolution des structures d'essai sur la plaquette et des mesures automatisées avancées, permettant une rétroaction quasi instantanée des résultats critiques du processus. Ensemble, cette technologie complète permet une analyse complète des défaillances, le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus avec une précision et un contrôle sans précédent sur le processus de wafer. KLA SFS 7700 offre des capacités de visualisation 3D supérieures avec une variété de techniques d'imagerie, y compris la technologie de microscopie optique native et un microscope électronique à balayage rapide (SEM). En outre, cette unité dispose d'algorithmes avancés de reconstruction de scène pour fonction 3D automatisée qui fournissent à la fois une vitesse et une précision accrues. Le 7700 comprend également un ensemble de métrologie propriétaire qui peut mesurer rapidement et avec précision les tailles, les formes et la topologie des caractéristiques. Le 7700 comprend également une machine d'acquisition de données (DAS) qui fournit des capacités d'analyse de données dans trois domaines : l'analyse des plaquettes de test, le contrôle des processus en temps réel et l'optimisation du rendement des processus. La composante d'analyse des plaquettes d'essai fournit des cartes détaillées des caractéristiques qui éclairent les plans d'amélioration des rendements, tandis que la composante de contrôle des processus en temps réel fournit des informations sur la qualité en ligne et la détection des processus au niveau des plaquettes individuelles. Enfin, la composante d'optimisation du procédé guide les plans d'amélioration de la qualité des plaquettes tout en fournissant des avertissements précoces de dérive du procédé et de tendances indésirables. De plus, l'outil 7900 offre des capacités d'analyse des défaillances puissantes, mais flexibles, qui permettent aux ingénieurs des processus de repérer les sources d'anomalies de processus. Le 7900 utilise une combinaison optimisée de techniques pour détecter avec précision les défauts potentiels, comme les comparaisons die-to-die, l'analyse des tendances de mesure, l'analyse transversale des plaquettes, les corrélations de cartes de couleurs et d'autres pour repérer les facteurs de défaillance potentiels. De plus, cet atout peut être automatisé pour les essais en ligne et la surveillance des processus, offrant une meilleure visibilité des processus et une meilleure capacité de rétroaction. Dans l'ensemble, TENCOR SFS 7700 offre un modèle de test intra-wafer puissant qui fournit un contrôle détaillé des processus, une détection avancée des pannes et des capacités d'optimisation pour améliorer les rendements de fabrication et de fabrication des semi-conducteurs. Les capacités complètes de métrologie et d'imagerie de cet équipement, associées à ses capacités automatisées d'analyse des données et de détection des pannes, permettent aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster rapidement et avec précision le processus de fabrication des semi-conducteurs afin d'améliorer les performances et la qualité des produits.
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