Occasion KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833 à vendre en France
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour caractériser les plaquettes semi-conductrices. Il fournit la microscopie électronique à balayage (SEM) avec des électrons secondaires et des rétrodiffusions pour détecter la topographie, et balayant les systèmes de courant alternatif et continu pour l'évaluation électrique et le diagnostic des défauts. Le système SEM comprend le scanner rapide 7700ES pour la cartographie à haut débit et à faible dose ; le 7700FS Fine Scanner pour des mesures précises et à haute résolution ; et le 7700SD Scanning Capacitance Microscope (SCM) pour les mesures de capacité locales. L'unité AC/DC comprend les canaux de mesure AC/DC pour les mesures électriques à haute performance et la machine d'analyse AC/DC pour l'analyse des ensembles de données. L'outil est particulièrement adapté pour les applications nœuds avancées avec des CDs minimum de 65nm ou moins. KLA 7700 Surfscan peut fournir une fiabilité et des performances de mesure supérieures à un faible coût. L'actif AC/DC utilise un algorithme de domaine fréquentiel qui lui permet de mesurer des dispositifs ultra-rapides, détectant et caractérisant des défauts critiques qui peuvent être manqués par d'autres systèmes. Les scanners ES et FS ont des vitesses de balayage rapides et une plage dynamique élevée permettant des mesures précises et la caractérisation des défauts de topographie 3D et des structures de changement de phase. Le contrôleur intégré SD SCM et le convertisseur 16 bits A/D fournissent l'échantillonnage du signal et la précision de mesure à 100 nanomètres. TENCOR 7700 Surfscan offre également une suite logicielle puissante pour analyser et visualiser les données. Le logiciel Surfview TSR permet aux utilisateurs d'analyser rapidement, facilement et avec précision les données et de visualiser les résultats des tests die-by-die. Le logiciel d'examen FASt fournit la préconfiguration et les défauts des outils, permettant aux opérateurs d'effectuer la configuration automatique pour des applications spécifiques. Le logiciel Smart review est une application basée sur Windows fournit un environnement convivial pour trouver rapidement des défauts sur un grand nombre de plaquettes. En résumé, 7700 Surfscan est un modèle avancé de test de plaquettes et de métrologie capable de fournir une excellente fiabilité et performance de mesure. Sa gamme polyvalente d'instruments et de logiciels en fait un choix idéal pour les applications nœuds avancées.
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