Occasion KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293747975 à vendre en France

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 293747975
Particle inspection systems.
KLA/TENCOR 7700 est un équipement entièrement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie. Le système est capable de manipuler des plaquettes de 8 pouces et 12 pouces et est utilisé pour mesurer les propriétés électriques et optiques sur les plaquettes, IC et MEMS. L'unité utilise un microscope intégré, un numériseur optique, des systèmes d'imagerie et des étages robotiques programmables par l'utilisateur pour mesurer diverses caractéristiques au sein d'un même environnement. La KLA 7700 dispose d'une résolution de 3,4 nanomètres pour les mesures optiques et d'une large gamme de capteurs pour différentes techniques d'imagerie, ce qui la rend idéale pour la caractérisation des appareils, la détection des défauts et l'analyse des défaillances. Les optiques d'imagerie TENCOR 7700 comprennent des capacités de luminosité, de champ sombre, de polarisation et de fluorescence. L'outil offre également des capacités de métrologie étendues telles que l'analyse de la rugosité de surface, les mesures de largeur de ligne, la détection de bosse ou de vide, et le profilage de surface optique 3D. La machine est capable de mesurer des caractéristiques aussi petites que 20 nanomètres avec une précision de mieux qu'un nanomètre. En outre, cet outil est capable de manipuler jusqu'à 12 pouces de plaquettes et peut atteindre des vitesses de test jusqu'à 10 000 tests par minute. 7700 comprend une variété de capacités de test basées sur l'image, comme les essais paramétriques, l'inspection de la mort et l'imagerie de défauts. Les essais paramétriques permettent d'identifier les changements de performance dus à la température, à la tension et à d'autres facteurs environnementaux. La capacité d'inspection de la matrice est utilisée pour détecter les défauts structurels, les problèmes de rendement et les variations de processus sur les plaquettes. La capacité d'imagerie des défauts est utilisée pour détecter les défauts non visibles et identifier les contaminants et les particules. Pour une précision maximale, KLA/TENCOR 7700 propose l'imagerie Advanced Colour Variation 2.0 (ACV2.0). ACV2.0 intègre l'imagerie NIR (proche infrarouge) et l'analyse avancée des couleurs pour mesurer rapidement et avec précision les transitions de couleurs complexes entre les différentes couches. Grâce à cette technologie, l'atout est capable de détecter des transitions de couleur ou des anomalies, de pixel à pixel, qui peuvent sinon être manquées. KLA 7700 est contrôlé par le logiciel programmable COMNET-I, qui permet une programmation rapide et facile des spécifications des plaquettes. En utilisant des systèmes LIMS, des feuilles de travail et des solutions évolutives standard de l'industrie, le modèle peut se connecter aux systèmes MES, réduire la programmation manuelle et le script, et fournir des données de contrôle de processus avec l'intégrité statistique en temps réel. TENCOR 7700 est capable de s'intégrer à la ligne de production pour les essais et l'inspection de planchers en usine. Avec des progiciels modulaires, l'équipement peut être personnalisé pour répondre aux besoins individuels des clients tels que les recettes automatisées, le traitement personnalisé des tâches et les paramètres contrôlés de l'usine. Ainsi, le système assure une analyse précise et efficace de chaque plaquette en termes de mesure et de rendement.
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