Occasion KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9198541 à vendre en France
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KLA/TENCOR 7700 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour mesurer et caractériser les caractéristiques physiques, électriques et optiques des circuits intégrés et des composants microélectroniques. KLA 7700 Surfscan system est un outil clé dans le développement, la caractérisation et la production de composants semi-conducteurs et opto-électroniques. Le 7700 dispose d'une unité de métrologie de haute précision avec une répétabilité et une précision supérieures. Il est conçu pour mesurer des caractéristiques avec des tailles allant de 1 nanomètre à 6 millimètres, supportant une large gamme de techniques photolithographiques, y compris le faisceau électronique, DUV, ArFi, et l'imagerie visible. De plus, les 7700 peuvent mesurer la topographie de surface avec une résolution de 0,01 nanomètres. TENCOR 7700 Surfscan utilise une variété de technologies de métrologie pour effectuer une variété d'essais, y compris la microscopie électronique à balayage (SEM), la microscopie à force atomique (AFM), la microscopie confocale (CM), l'interférométrie à la lumière blanche (WLI) et la scatterométrie optique (OS). Ces techniques sont utilisées pour analyser la géométrie et les propriétés des circuits sur cette plaquette. Le SEM est utilisé pour observer l'agencement du circuit, y compris la vitesse de croissance du métal déposé en surface. AFM fournit une image 3D haute résolution de la surface, permettant la caractérisation précise de la rugosité de surface et le contrôle précis du budget de rugosité de la plaquette. CM permet l'imagerie non destructive à la fois à grande et à petite échelle et permet la caractérisation précise des performances de l'appareil ou des caractéristiques telles que pseudo-vitesse et contact. WLI est une technique d'imagerie basée sur la diffraction qui permet de surveiller l'état et la stabilité des revêtements et des couches minces. OS détecte les effets optiques de la topographie de surface de la carte de circuit et est adapté pour des mesures dimensionnelles de haute précision et l'analyse de la surface des caractéristiques de la plaquette. 7700 Surfscan est une machine de métrologie riche en fonctionnalités, permettant une flexibilité et une évolutivité complètes. Il peut être utilisé pour le fonctionnement manuel et le balayage automatisé avec son matériel intégré, comme les cartes d'acquisition et d'analyse de données, ou l'opérateur peut intégrer des instruments tiers, comme une interface de microscopie électronique à balayage. Il peut également accueillir une variété de sondes, y compris des étages manuels et motorisés, et être déployé avec une grande variété d'outils logiciels. KLA/TENCOR 7700 Surfscan est un outil de métrologie fiable et économique qui permet de mesurer les propriétés physiques, électriques et optiques des circuits et composants. Il est utilisé dans une variété d'applications de développement et de production et est un outil essentiel dans l'industrie des semi-conducteurs.
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