Occasion KLA / TENCOR 7700M Surfscan #293603718 à vendre en France

KLA / TENCOR 7700M Surfscan
ID: 293603718
Inspection systems.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan est un équipement d'essai de surface et de métrologie conçu pour optimiser la précision, la précision et le débit dans un cadre de production. Il peut détecter les propriétés des matériaux sur une large gamme de surfaces de plaquettes, y compris les surfaces diélectriques, les métaux, les montures et les plaquettes avec des structures intégrées. Au cœur du système se trouve un sous-système de microscopie numérique à haute résolution qui capture des images de surface à des grossissements allant jusqu'à 1800x, permettant une analyse détaillée des surfaces les plus complexes. L'unité peut automatiquement effectuer un balayage topographique plein champ et identifier les caractéristiques paramétriques de la section transversale sur les caractéristiques les plus complexes. Pour garantir une grande précision, KLA utilise des technologies de cartographie exclusives telles que la méthode de cartographie Kernaisk- Sondermann pour cartographier les caractéristiques nanométriques. Les balayages capturent la rugosité, les contours, les hauteurs des marches et les largeurs des lignes, ce qui permet une analyse détaillée de la surface d'une plaquette. La machine peut même identifier la présence d'une ouverture de coussin ou de bosses sur les plaquettes. Les images acquises sont ensuite livrées en 1 nm de scans répétables et d'images superposées dans la cuisine de scan, ce qui permet aux ingénieurs de processus d'identifier les défauts répétables induits par le processus et de procéder à la métrologie paramétrique et à l'évaluation du rendement de production. L'outil comprend également des capacités d'essai sans contact, sans contact et non destructif, y compris les essais en courant alternatif et en courant continu, les mesures de la capacité-tension, les essais de résistance des plaquettes, la caractérisation de l'isolement et l'extraction des paramètres en courant continu. Lors de ces tests, la photographie numérique 16 bits de l'actif et le logiciel d'investigation spécialisé peuvent détecter les défauts des plaquettes et prédire les effets des changements de processus sur les surfaces et les propriétés des plaquettes. Modèle KLA 7700M Surfscan est l'outil idéal pour caractériser et optimiser les processus critiques qui exigent une analyse haute précision, répétable et évolutive. L'équipement offre des capacités de pointe, des processus précis, reproductibles, et des analyses perspicaces pour conduire des conceptions de processus efficaces et fiables.
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