Occasion KLA / TENCOR 7700M Surfscan #59524 à vendre en France

KLA/TENCOR 7700M Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe pour les fabricants de semi-conducteurs. Il utilise des technologies de balayage optique et électrique pour effectuer des essais de plaquettes, des essais à une seule filière aux mesures de planéité complète des plaquettes, sur une variété de substrats. Le système comprend également une détection et une classification avancées des défauts. L'unité comprend un grand étage automatisé de 7,7 'par 11,2' qui utilise une machine d'alignement X-Y-Theta précise. Un axe Z programmable assure un contact précis et à faible force entre le mandrin électrostatique et la plaquette, tandis qu'un puissant sous-système de vision permet un alignement en temps réel avec le mandrin de la plaquette. Une caméra haute résolution identifie les cibles d'alignement, assurant la précision et la répétabilité sur l'ensemble de la plaquette. L'actif moiré optique de l'outil utilise un générateur de lignes laser à angle variable pour mesurer rapidement et avec précision le profil de surface, la planéité et d'autres caractéristiques critiques de surface. Il utilise un champ de vision allant jusqu'à 5˚ x 37.5˚ et est capable de mesurer des appartements dans des profondeurs allant de moins de 0,1 µm à plus de 7,0 µm avec une précision supérieure à 0,3 µm. Pour le test des plaquettes, KLA 7700M Surfscan est équipé d'une suite de sondes électriques avancées pour le test et la caractérisation par contact. Les sondes sont dotées d'une technologie brevetée d'alignement nanométrique de précision et sont capables de tester les fuites de courant, la résistance, l'inductance et la capacité dans des modes de contact multiplexés et sans contact. Enfin, TENCOR 7700M Surfscan propose une identification, une classification et une analyse avancées des défauts des plaquettes. Les défauts sont détectés à l'aide des techniques SEM et AFM, et les types de défauts sont classés en temps réel. Le modèle comprend également le logiciel nécessaire à l'analyse complexe des défauts, y compris le repérage automatisé des contours et l'identification des particules. Dans l'ensemble, 7700M Surfscan fournit aux fabricants de semi-conducteurs une plateforme de test et de métrologie de plaquettes extrêmement puissante, mais très accessible. Sa combinaison de technologies avancées de balayage optique et électrique, de capacités d'alignement précises et d'analyse des défauts en font un outil idéal pour garantir la qualité et la fiabilité des systèmes semi-conducteurs très complexes d'aujourd'hui.