Occasion KLA / TENCOR 7700M Surfscan #9313795 à vendre en France
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ID: 9313795
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Wafer inspection system, 8"
Model no: 313246
Display monitor
Keyboard and trackball
(2) Cassette plates
Wafer transfer robot
Chuck, 8"
JDS UNIPHASE 2214-30SL Laser
Pre-aligner
ADC Board
Motor lamp drive board
Power drawer box
External fan
Exhaust line
Computer:
IDE Control board
SECS Port
CPU Board
CPU Parallel port
Hard Disk Drive (HDD)
PSF Control board
(2) Motor control boards
Interface board
PFE Board
Motor controller board
Power supply: 208 V, 20 A, 60 Hz, 2 Phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 7700M Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes de haute performance conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Les fonctions avancées d'optique, d'imagerie et de mesure automatisée du système lui permettent de mesurer et d'analyser rapidement les paramètres critiques d'une plaquette, ainsi que sa forme topographique. KLA 7700M Surfscan permet à ses utilisateurs d'analyser et d'inspecter les plaquettes de manière fiable avec un haut niveau de précision et de répétabilité. Au cœur, TENCOR 7700M Surfscan utilise un mécanisme de numérisation breveté pour la cartographie des plaquettes. Cette unité utilise un réseau linéaire de caméras CCD linéaires 16 bits à faible bruit disposées horizontalement sur l'étage de balayage de la machine. Ces caméras mesurent les propriétés électriques de la plaquette, telles que l'épaisseur de l'oxyde, ainsi que sa topographie. La fonction autofocus de substrat très intégrée de l'outil permet des tests précis en quelques secondes. 7700M Surfscan dispose d'une optique supérieure, ce qui lui permet d'effectuer des mesures 3D rapides et précises de la topographie de surface des plaquettes. Il offre jusqu'à six fois plus de précision que les systèmes 2D classiques, et fournit également une véritable imagerie couleur avec zoom 4x et taille de 5 microns pixel. KLA/TENCOR 7700M Surfscan utilise une suite d'automatisation logicielle spécialisée qui automatise l'inspection des plaquettes et les tâches de modélisation. Il fournit aux utilisateurs un point d'entrée unique pour visualiser et contrôler les données de l'actif. Ce logiciel simplifie les opérations et guide efficacement les opérateurs à chaque étape du processus. Ce qui fait en outre ressortir ce modèle est son serveur d'automatisation Web, qui comprend plusieurs outils pour la synchronisation de bases de données et l'exécution de script. Cela permet d'assurer une communication transparente avec les logiciels de gestion des données de l'équipement, ainsi qu'avec d'autres systèmes hôtes de l'usine. KLA 7700M Surfscan est un système intuitif et rentable, capable de fournir un niveau amélioré de précision et de répétabilité sur les projets de test de wafer et de métrologie. Avec sa puissante combinaison d'optiques de balayage sophistiquées, de fonctions de mesure automatisées et de logiciels conviviaux, l'unité est un choix idéal pour les essais de plaquettes et les projets de métrologie dans l'industrie des semi-conducteurs.
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