Occasion KLA / TENCOR 80-00100 #9141855 à vendre en France
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KLA/TENCOR 80-00100 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie pour la mesure et l'analyse précises et automatisées de couches minces sur plaquettes semi-conductrices. Le système simule la réponse réelle des dispositifs sur la plaquette, permettant à l'utilisateur de mesurer rapidement et avec précision les épaisseurs et autres propriétés des films et des structures sur la plaquette. Il est également capable de détecter les défauts causés au cours du processus de fabrication et de soutenir les opérations de qualification et de contrôle du processus. L'unité KLA 80-00100 est composée d'un ordinateur central et d'un certain nombre de modules de tête indépendants, dont chacun contient les composants requis pour le processus de mesure. L'ordinateur central dispose d'une machine optique de haute précision pour obtenir les données et le traitement des données. L'optique est capable de fonctionner dans les modes de transmission, de réflexion et d'émission, et a été conçue pour assurer une précision et une répétabilité maximales des mesures. Les modules de tête comprennent un contrôleur de mouvement, un moteur à balayage, des composants optiques, des capteurs de transmission et d'imagerie, et une source lumineuse d'éclairage, qui coopèrent tous pour contrôler la position de la tête par rapport à la plaquette. En outre, la tête est capable de monter un certain nombre d'accessoires et de lentilles, permettant à l'utilisateur de configurer l'outil pour des applications de test spécifiques. L'actif TENCOR 80-00100 est livré avec le logiciel nécessaire à la planification et à l'exécution des tests. Il est capable d'effectuer des mesures combinées de film et de défaut, ainsi que de fournir une cartographie 3D précise de la surface et du profil des structures IC. L'utilisateur peut également programmer le modèle pour exécuter des opérations telles que le suivi des paramètres, la surveillance des processus et l'émulation des recettes de processus. L'équipement 80-00100 est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de sa précision, de sa précision et de son fonctionnement automatisé. Il est hautement configurable, et peut être adapté à une variété d'applications de test. Il est également considéré pour sa production fiable de données, qui fournit des informations précieuses pour le développement d'appareils et l'optimisation des processus.
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