Occasion KLA / TENCOR 8450 #9316171 à vendre en France
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ID: 9316171
Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)
With PRI AUTOMATION GT6.
KLA/TENCOR 8450 Wafer Testing and Metrology Equipment est une plate-forme automatisée polyvalente conçue pour les essais et les applications de métrologie pour les dispositifs semi-conducteurs avancés. Le système est capable d'identifier et de caractériser même les défauts les plus complexes de la surface de la plaquette. Il dispose d'un large éventail de techniques de mesure non-contact et capacitive et de puissantes capacités de balayage. L'unité KLA 8450 dispose de capacités de vision et de métrologie de la lumière très précises et automatisées. Il est construit avec une machine d'imagerie avancée utilisant des techniques de champ lumineux et de champ sombre pour identifier le placement dopant des atomes de surface TOP et les défauts complexes, et peut également mesurer la hauteur atomique et la taille des caractéristiques de la structure. L'outil est capable d'inspecter des microcircuits à motifs complexes dans la gamme des nanomètres. Il produit des visualisations 3D détaillées, qui sont ensuite utilisées pour analyser les informations de recouvrement et d'enregistrement de profil. L'actif dispose d'un modèle intégré d'acquisition de données (DAS) qui est optimisé pour la saisie et l'analyse de données à grande vitesse. Le DAS fournit des résultats rapides et précis, et peut stocker de grandes quantités de données pour des périodes d'essai prolongées. Pour une solution complète d'équipement, le système est offert avec une unité de mesure NU (NMS) optionnelle. Le NMS fournit une métrologie nanométrique avancée pour des mesures précises des nanostructures, permettant de mesurer les caractéristiques dimensionnelles. La machine TENCOR 8450 offre le plus haut niveau de précision, de fiabilité et de performance. C'est une solution robuste et évolutive qui permet une flexibilité et une adaptation dans une grande variété de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec sa technologie de pointe, 8450 fournit une solution efficace pour les essais et les applications de métrologie dans la technologie des semi-conducteurs.
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