Occasion KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326 à vendre en France
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ID: 9410326
Style Vintage: 1995
Particle inspection system
Non-functional
1995 vintage.
KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscan est un équipement de test et de métrologie automatisé de plaquettes de pointe qui offre des applications polyvalentes et avancées pour la mesure, l'inspection et l'amélioration des rendements des semi-conducteurs. Le système utilise des capacités avancées d'inspection des plaquettes, de métrologie, d'essais électriques, d'OBIRCH, de classification avancée des défauts et d'examen automatisé des défauts pour permettre les niveaux les plus élevés de détection et de classification des défauts. Alimenté par des algorithmes de pointe, l'unité fournit un rendement et une productivité maximum avec 500x le débit des systèmes précédents. KLA 7600 Surfscan utilise une technique de collection optique tridimensionnelle unique qui est optimisée pour l'optomécanique des plaquettes traversantes. Il fournit une résolution de métrologie inégalée, permettant une métrologie avancée et une analyse de profilage de profondeur qui fournit en temps réel, la comparabilité transversale. Cela permet également une comparaison efficace des processus de gravure pour le contrôle des processus et le dépannage. Le moteur avancé de classification des défauts de la machine intègre une bibliothèque complète de signatures et de caractéristiques de défauts, prévoyant un typage automatisé des défauts, une détection exacte des faux positifs et la caractérisation des variations. De plus, il est capable de classer par défaut les dimensions critiques (CD) telles que via, contact, largeur de ligne et profondeur. L'ADE 7600 Surfscan comprend également une puissante solution de révision automatique des défauts (ADR) qui permet des opérations avancées de révision des défauts, y compris le regroupement des défauts et l'analyse des performances des rendements, ainsi que le moteur de classification intégré et OBIRCH. Cela fournit les niveaux les plus élevés de productivité et de contrôle de la qualité dans un large éventail d'applications. Le logiciel et le matériel complet de l'outil comprennent une bibliothèque matérielle complète et une plate-forme d'application avancée qui est suffisamment flexible pour répondre à tous les besoins du client. En outre, il dispose d'un fonctionnement automatisé à distance, de bases de données en réseau et de compatibilité avec divers systèmes CAO. L'actif prend en charge les dimensions des plaquettes de 200mm et 300mm, et sa conception compacte utilise un espace minimal, ce qui le rend très rentable pour le déploiement. En conclusion, 7600 Surfscan est l'une des solutions de test et de métrologie de plaquettes les plus avancées. Ses capacités avancées de métrologie et de détection des défauts, combinées à sa vaste gamme d'options matérielles et logicielles, fournissent le plus haut débit et les niveaux de précision pour un rendement et une productivité maximum.
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