Occasion KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555 à vendre en France

KLA/TENCOR ADE 9500 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil puissant pour mesurer rapidement les paramètres de processus tout au long du processus de fabrication des plaquettes. Il peut mesurer l'épaisseur des couches et des couches, la profondeur des caractéristiques, la largeur des caractéristiques, et plusieurs paramètres de faisceau d'électrons. Il comprend également une bibliothèque intégrée pour les essais et les recettes de métrologie adaptées à des processus spécifiques. KLA ADE 9500 offre des tests et une métrologie flexibles, rapides et fiables avec sa gamme de mouvements élevés, une précision de métrologie précise et un temps de réponse rapide du système. Il est construit avec une intégration étroite entre le microscope électronique à balayage (SEM), l'étage motorisé et l'unité de positionnement. La station, composée de l'étage motorisé et de la machine de positionnement, est le composant clé pour tester et mesurer les échantillons. Le SEM offre un aperçu de la surface de l'échantillon sous plusieurs angles différents et l'étage motorisé permet des mouvements extrêmement précis nécessaires pour des mesures avancées. TENCOR ADE 9500 comprend également un certain nombre de fonctionnalités avancées, telles que AutoFocus, une méthode automatique pour mesurer la planéité et la rugosité des appareils ainsi que l'épaisseur et la rugosité des couches. La suite de contrôle de mesure permet de personnaliser tous les tests et mesures grâce à une interface graphique conviviale. En outre, des capacités de cartographie des couches sont prévues pour mesurer correctement l'épaisseur des couches à haute précision. ADE 9500 a une architecture ouverte qui permet l'intégration avec d'autres systèmes d'instrumentation et de contrôle, tels que les microscopes à sonde à balayage (SPM), les systèmes d'automatisation d'étages, et une variété d'ordinateurs. En outre, il est très compatible avec les systèmes multi-utilisateurs pour permettre des tests flexibles, rapides et fiables. En résumé, KLA/TENCOR ADE 9500 est un outil de test de plaquettes et de métrologie avec une gamme complète de fonctionnalités pour mesurer avec précision une variété de paramètres de processus. Il est construit avec une grande précision et vitesse, permettant des mesures complexes avec un temps de réponse rapide. Il est très compatible avec d'autres systèmes et offre une architecture ouverte pour l'intégration de plusieurs instruments.