Occasion KLA / TENCOR / ADE Ultrascan 9600FA #9181889 à vendre en France
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Vendu
ID: 9181889
Style Vintage: 1998
Wafer measurement system
Resistivity capability: 1.0 Ω-cm to over 100 Ω-cm (Up to 90 Ω-cm for DBH)
E+ Station
1998 vintage.
KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA est un équipement intégré d'essai de plaquettes et de métrologie qui contribue à améliorer la qualité des semi-conducteurs. Ce système dispose d'une plate-forme de métrologie optique avancée qui permet une mesure précise sans contact de la topographie et des surfaces des plaquettes, des matrices et des films. KLA Ultrascan 9600FA offre des mesures rapides et précises et un débit élevé, permettant aux utilisateurs d'évaluer rapidement et avec précision les caractéristiques des plaquettes. ADE Ultrascan 9600FA combine une détection de plaquettes hautement automatisée et une métrologie optique précise sans contact dans une seule plate-forme intégrée. Cette unité est équipée de 6148 sondes optiques qui peuvent être positionnées avec précision sur la surface de la plaquette pour mesurer les paramètres de la filière, ainsi que d'une métrologie optique capable de résolution au niveau du nanomètre. En plus de ses capacités de sondes et d'optique, TENCOR Ultrascan 9600FA dispose d'un sous-système de traitement des plaquettes qui permet un déplacement rapide et robuste des plaquettes au stade XY de la machine pour permettre un traitement efficace des échantillons. Ultrascan 9600FA est alimenté par la technologie KLA, qui permet d'améliorer la précision dans la mesure de la topographie de surface. La haute résolution de cet outil permet de capturer des détails extrêmement fins et des caractéristiques de haute intensité, ce qui en fait un choix idéal pour l'inspection des caractéristiques de niveau de la matrice. L'actif dispose d'une imagerie 3D automatisée pour saisir facilement les données topographiques d'une grande variété de substrats. KLA/TENCOR/ADE Les capacités d'analyse d'Ultrascan 9600FA comprennent la transformée de Fourier rapide (FFT) ainsi que la technologie brevetée pour la mesure de la forme et de la forme. FFT analyse la fréquence et l'intensité des caractéristiques sur la surface de la plaquette et permet d'identifier les caractéristiques, tandis que les mesures de forme et de forme permettent des mesures plus précises des petites caractéristiques et des processus. En plus de ses puissantes capacités optiques et métrologiques, KLA Ultrascan 9600FA est également équipé d'un contrôleur intégré, GPI/O, et d'un logiciel convivial qui permet aux utilisateurs de personnaliser les mesures et l'analyse. Ce modèle est capable de mesurer une grande variété de paramètres tels que la hauteur des marches, la rugosité WAT et les fonctions d'étalement des lignes. ADE Ultrascan 9600FA est un outil essentiel pour garantir la qualité dans l'industrie des semi-conducteurs et offre une grande valeur pour les clients.
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