Occasion KLA / TENCOR AIT 1 #293751594 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT 1 SURFSCAN est une plateforme entièrement automatisée de solutions de métrologie conçue pour les essais et les applications de métrologie dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement offre une mesure précise et répétable des caractéristiques de la plaquette telles que le balisage, la superposition et la largeur de ligne. Le système utilise des capteurs avancés et une technologie d'enregistrement mutuel multiple pour capturer des mesures précises et des points de données d'une gamme de substrats. Surfscan AIT 1 fournit un balayage précis sans contact des substrats avec une haute résolution, répétabilité et précision. L'unité supporte la mesure de différents substrats dont des plaquettes de silicium, des panneaux plats, des LCD, des substrats hybrides organiques et organiques-inorganiques. La plate-forme est modulaire et optimisée pour un débit rapide et un faible coût par mesure. Cette machine est capable de traiter une large gamme de tailles de plaquettes et fournit une protection ultime avec une station intégrée d'examen de carte d'imagerie sous-wavelenght. Le processus automatisé permet une collecte de données précise et répétable avec un outil d'imagerie optique à large champ, un atout de Overlay Diagnostic, et d'autres technologies de mesure selon l'application. Ses capacités intégrées de reconnaissance de forme et de classification permettent des mesures de courbes précises et répétables, ainsi que des mesures de contour, des images de surface descendantes et une inspection de réflexion pour les glyphes, les défauts et d'autres types de caractéristiques. Pour traiter plusieurs ensembles de données à la fois, le modèle AIT 1 dispose d'un module d'extraction de profil automatisé qui peut extraire des fonctions telles que les fenêtres de processus, les largeurs et les longueurs de lignes. En intégrant cet équipement, les opérateurs peuvent déterminer avec précision les caractéristiques critiques d'un dispositif ou d'une structure rapidement et efficacement. Par exemple, le système d'enregistrement à haut débit Overlay est capable de traiter jusqu'à 200 plaquettes par heure. Cela est bénéfique pour les utilisateurs finaux qui ont besoin de données mesurables rapidement et fréquemment. Aussi robuste et aussi puissant que l'unité SURFSCAN de KLA AIT 1, il possède également une grande flexibilité. L'optique peut être facilement changée pour une variété de tâches et la machine est équipée de multiples capacités de configuration pour les fenêtres de processus, les seuils, la mesure, la répétabilité, et d'autres paramètres importants. Toutes ces fonctionnalités, ainsi que sa métrologie automatisée de haute qualité, font de Surfscan AIT 1 une option attrayante pour les fabricants de semi-conducteurs.