Occasion KLA / TENCOR AIT 1 #9022108 à vendre en France

ID: 9022108
Inspection system.
KLA/TENCOR AIT 1 est un équipement leader d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une large gamme de solutions d'inspection optique et de métrologie pour les plaquettes de silicium, y compris l'inspection avancée des défauts, la mesure de topographie, la caractérisation des matériaux au niveau des plaquettes et les applications de métrologie de surface. Avec une multitude d'automatismes, le système est capable d'effectuer des mesures de précision plus rapides et plus précises que jamais auparavant, donnant aux utilisateurs une efficacité de production accrue et maximisant la rentabilité dans les processus de fabrication des semi-conducteurs. KLA AIT 1 est équipé de composants optiques multiples pour effectuer une gamme de tests optiques, y compris la microscopie électronique à balayage (SEM), l'imagerie par champ lumineux optique (OBFI), l'imagerie spectrale (SI) et la métrologie optique 3D (3DM). La haute définition de ses algorithmes de cartographie permet de détecter des caractéristiques extrêmement petites et subtiles à la surface de la plaquette, permettant une inspection des défauts extrêmement précise et précise. Elle permet également d'effectuer des mesures de topographie et/ou de matériaux dans une zone rectangulaire ou circulaire définie sur la plaquette. En outre, le logiciel de l'unité a la capacité pour l'analyse de densité spectrale de puissance (PSD), permettant l'analyse de grandes zones de données rapidement et avec précision et permettant une plus grande précision dans l'étalonnage des mesures optiques ainsi qu'une meilleure détection des défauts. La suite avancée de capacités d'inspection et de métrologie de TENCOR AIT 1 en fait une machine puissante et fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer un large éventail de tests, notamment : caractérisation de la topographie de surface en 3D, essais d'altération au niveau des plaquettes, mesure des défauts de l'interface couche-à-couche, essais non destructifs, métrologie des couches minces et profilométrie de surface en 3D. En outre, il a la capacité d'identifier et de caractériser divers types de motifs et de défauts, y compris la contamination des particules et la migration électrochimique, ainsi que de détecter et de reconstruire avec précision les matériaux de surface. L'AIT 1 offre également aux utilisateurs la souplesse nécessaire pour s'adapter à leurs besoins et applications spécifiques, car il peut être facilement intégré avec des systèmes externes et des équipements périphériques afin d'accroître encore ses capacités. Plusieurs paquets d'alignement sont également disponibles, permettant à l'outil d'aligner avec précision les lots de production avec une précision nanométrique sur plusieurs plaquettes. En outre, l'actif est conçu pour des performances éprouvées et des rendements en fonctionnement à haut débit 24/7 pour des applications de fabrication de semi-conducteurs de haute fiabilité, et est livré avec une plate-forme de service complète qui garantit aux utilisateurs une réponse rapide et un entretien facile. En résumé, KLA/TENCOR AIT 1 est un modèle puissant et fiable conçu pour l'industrie des semi-conducteurs, offrant une inspection avancée des défauts, la mesure de la topographie et la caractérisation des matériaux au niveau des plaquettes. Avec sa richesse de fonctionnalités et d'automatismes, l'équipement est capable d'offrir une efficacité de production et une rentabilité maximales pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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