Occasion KLA / TENCOR AIT 1 #9086398 à vendre en France
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ID: 9086398
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Wafer inspection system, 8"
ARGON Laser
1997 vintage.
KLA/TENCOR AIT 1 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour détecter les défauts sur les plaquettes semi-conductrices. Le système fonctionne pendant le processus de fabrication avant et fournit aux ingénieurs une détection rapide, précise et fiable des défauts. L'unité est composée de quatre composants : une unité de mesure intégrée (IMU), un étage de balayage, un chemin optique numérique et un outil de contrôle des défauts. L'IMU se compose d'une machine de commande moteur à trois axes qui peut positionner avec précision l'étage de la plaquette pour le balayage. Cela permet des mesures précises de la taille des défauts à quelques millimètres près. L'étage de plaquette de balayage est la plate-forme sur laquelle la plaquette est placée pour être balayée. Il s'agit d'un étage de translation à deux axes, robotisé et capable de se déplacer rapidement sur une grande surface. L'étage de balayage comporte deux transducteurs linéaires de haute précision qui suivent l'étage de la plaquette et produisent une carte de la surface de la plaquette. Le chemin optique numérique, ou tête optique, est alors utilisé pour recueillir la lumière générée par l'étage, analyser et calculer la position et la taille de chaque défaut. Ces données sont ensuite utilisées pour détecter des défauts. Enfin, l'outil de détection des défauts est un outil basé sur un algorithme utilisé pour analyser les données collectées et identifier et classer les défauts pour une inspection plus poussée. L'outil AIT 1 KLA est conçu pour analyser l'ensemble de la surface de la plaquette en même temps et fournir des informations détaillées sur chaque défaut constaté. Comme l'actif est automatisé, il peut être utilisé pour des inspections manuelles et automatisées. Les inspections automatisées sont extrêmement utiles pour obtenir des résultats cohérents, car elles ne sont pas sujettes à des erreurs humaines. Le modèle est également capable d'interfacer avec d'autres systèmes, comme la simulation, le contrôle des processus ou la lithographie, pour fournir des informations exactes sur les tailles, les formes et les emplacements des défauts. Dans l'ensemble, l'équipement d'essai et de métrologie TENCOR AIT 1 est une solution fiable et conviviale pour la détection des défauts de semi-conducteurs. Le système fournit des résultats précis, précis et complets qui peuvent être utilisés pour améliorer le processus de fabrication et augmenter les rendements.
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