Occasion KLA / TENCOR AIT 1 #9214537 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT 1 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour améliorer la qualité et le rendement des puces semi-conductrices. Le système a été développé par KLA, un fournisseur leader de produits d'inspection et de métrologie des plaquettes. KLA AIT 1 est une machine automatisée sans contact conçue pour mesurer les paramètres physiques et électriques sur toute la surface de la plaquette. L'outil combine trois techniques de métrologie dans une plate-forme : la réflectométrie à large bande (BBR), la topographie de surface 3D (3DST) et le courant induit par faisceau d'électrons (EBIC). BBR est utilisé pour mesurer les épaisseurs de couches, les largeurs d'interface et les profondeurs, sur toute la surface de la plaquette. Ceci permet aux fabricants de contrôler l'épaisseur et l'homogénéité de l'entrefer diélectrique, ainsi que la caractérisation des profils de couches photorésistantes. 3DST utilise des lasers pour mesurer le profil de hauteur sur l'ensemble de la plaquette, ce qui permet aux fabricants d'identifier les irrégularités dans la surface de la plaquette. EBIC utilise des électrons pour détecter tout short ou ouverture à travers la plaquette. Cela permet de détecter les défauts de processus tels que les raccourcis d'oxyde de grille ou les variations de traitement. L'actif comprend également un logiciel d'analyse des données collectées. Il comprend une suite d'outils pour mesurer différents paramètres sur toute la surface de la plaquette. Le logiciel permet à l'utilisateur de fixer des seuils et d'autres options pour personnaliser le modèle à leur application spécifique. Il fournit également la fonctionnalité de rapport pour examiner rapidement les résultats. De plus, l'interface utilisateur de l'équipement est intuitive et conviviale, ce qui facilite la mise en place, le réglage et la surveillance du système. L'unité TENCOR AIT 1 est idéale pour un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs, telles que le contrôle de la qualité des circuits intégrés, la caractérisation des processus, l'amélioration des rendements et le développement des procédés. Ses techniques de mesure sans contact et son progiciel de pointe permettent aux fabricants d'augmenter la précision et de réduire les coûts.