Occasion KLA / TENCOR AIT I #9173474 à vendre en France
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ID: 9173474
Style Vintage: 1997
Darkfield system
Single open handler, 8"
1997 vintage.
KLA/TENCOR AIT I est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir des résultats précis pour les dispositifs semi-conducteurs complexes. Il utilise des algorithmes logiciels avancés, des bibliothèques de modèles de test et des plates-formes de test intégrées pour automatiser et optimiser les processus de test. Le système aide à la mise au point de plaquettes et de substrats pour la fabrication, et qualifie les flux d'essais stables et dynamiques. KLA AIT I intègre des techniques avancées d'imagerie et de mesures de réflectivité pour détecter des imperfections mineures ou des erreurs de fabrication, pendant ou après la fabrication de l'appareil. Il dispose également d'un microscope optique, d'un analyseur de charge de surface et d'un microscope HDTV/SEM pour caractériser les nouveaux matériaux ou les géométries courbes. Il peut être configuré pour mesurer des paramètres tels que le contour, l'épaisseur, la hauteur et la dimension du réseau cristallin. TENCOR AIT-I intègre également l'analyse d'image à haut débit - y compris la détection de bord et l'analyse de texture - pour fournir des données de métrologie rapides et quantitatives. Cette fonctionnalité aide à réduire les temps de cycle de processus et améliore les rendements des plaquettes. KLA AIT-I permet en outre de surveiller en temps réel les défauts des photomasques, les défauts de la couche de lithographie et les réponses aux tests dans les plaquettes entrantes. De plus, des fonctions semi-automatiques d'alignement et d'enregistrement sont disponibles pour simplifier les comparaisons entre masques. Cette machine offre également une compatibilité avec une gamme variée de matériaux de plaquettes, de l'empilement aux substrats SOI. De plus, KLA/TENCOR AIT-I facilite la communication interplanétaire avec diverses étapes du processus, telles que le dépôt, la lithographie, la gravure et la métrologie. Il fournit des données de métrologie à chaque étape du processus pour le contrôle de qualité en ligne et hors ligne. AIT I fournit une suite d'outils logiciels puissants pour l'analyse complète des données. Ces outils permettent le forage et la cartographie de la résistivité, ainsi que la distribution de probabilité globale des résultats des tests. En outre, il peut permettre l'intégration de plusieurs logiciels de test utilisés dans différentes opérations au sein d'un même environnement de test. AIT-I est conçu pour prendre en charge des applications avancées telles que le développement de motifs en ligne fine utilisés dans la mémoire, la logique et les périphériques embarqués. Son contrôle rigoureux de la précision et de la répétabilité des essais permet en outre d'améliorer les rendements des plaquettes et de réduire les taux de défaillance lors d'une production à haut volume.
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