Occasion KLA / TENCOR AIT II #9281087 à vendre en France

KLA / TENCOR AIT II
ID: 9281087
Defect inspection system.
KLA/TENCOR AIT II est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe. Il offre un débit et une précision élevés pour différents types de tâches d'inspection au niveau des plaquettes. Avec son optique avancée, son contrôle de mouvement de haute précision et son logiciel, KLA AIT II fournit une métrologie rapide et fiable et des tests pour les motifs imprimés sur des plaquettes. TENCOR AIT II est un système hybride combinant des capacités d'imagerie en plein champ et la microscopie électronique à balayage (SEM). Il est conçu pour mesurer la forme géométrique, la taille, la position, la répartition et l'épaisseur de couche des motifs imprimés sur la surface de la plaquette. L'unité est capable de tester à un taux de 5000-10000 Wafers par heure (WPH). AIT II dispose d'un module d'inspection optique intégré avec jusqu'à quatre caméras. Les caméras sont utilisées pour capturer l'image de la plaquette et mesurer la taille du motif. Une fois le motif mesuré, il est comparé à un ensemble de normes pour déterminer s'il répond aux spécifications du procédé désiré. Le logiciel de la machine offre également diverses options d'analyse, telles que la mesure de la largeur de la ligne, la mesure de la résistance des feuilles et la mesure de la taille des grains. Ce logiciel peut également être utilisé pour définir les paramètres de défaut et contrôler les dimensions critiques. En outre, l'outil dispose d'un microscope électronique à balayage intégré (SEM) qui est utilisé pour mesurer la topographie de la plaquette. Cela permet d'assurer un contrôle optimal du processus, ainsi que de comprendre les échecs du processus. Le SEM détecte également avec précision la présence d'éventuels contaminants ou de films métalliques présents sur la surface de la plaquette traitée. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR AIT II offre des capacités de pointe pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Avec ses systèmes de contrôle de mouvement de haute précision, son optique avancée, son logiciel d'analyse de motifs et son microscope électronique à balayage intégré, KLA AIT II est un excellent choix pour le contrôle des processus et la détection des défauts.
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