Occasion KLA / TENCOR AIT II #9387208 à vendre en France

ID: 9387208
Defect inspection system, 8" Laser: 75 mW ASB Open handler Does not include: Computer Calibration wafers.
KLA/TENCOR AIT II est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie. Le système fournit une métrologie optique sans contact, permettant une productivité et une précision élevées dans l'inspection des plaquettes. En outre, il dispose de technologies innovantes de lignes de faisceau pour augmenter la précision et la répétabilité. L'unité est capable de détecter des défauts de surface, des contaminants et des défauts dans les motifs ou d'autres caractéristiques fines avec une très haute précision, idéal pour assurer la qualité dans la production de plaquettes. KLA AIT II se compose d'un outil de métrologie optique compact et d'une machine de contrôle complète pour le paramétrage, l'alignement optique et la collecte de données. L'outil utilise des traductions X-Y-Z à échelle linéaire, ce qui rend possible l'imagerie tridimensionnelle. La technologie est également capable de scanner une large gamme de tailles de motifs avec des résolutions d'image jusqu'à 0,5 micron. Cela permet de détecter les imperfections qui peuvent être difficiles à repérer à l'oeil nu. L'actif intègre plusieurs technologies innovantes pour améliorer la fidélité et la vitesse de traitement de l'image. Il s'agit notamment d'un mécanisme avancé de centrage automatique, d'une source lumineuse redondante, d'un ensemble d'optiques à lignes de faisceau, d'une commande de trajectoire de faisceau et d'un équilibrage automatique. Un auto-focus laser fournit une grande précision et une gamme dynamique étendue de focus pour les applications d'imagerie statique et à grande vitesse. Les sources de lumière redondantes fournissent une redondance d'éclairage et une luminosité d'image constante. Les optiques à lignes de faisceau fournissent une imagerie à large champ et une imagerie à haute résolution avec un éclairage précis à courte longueur d'onde. Le contrôle de la trajectoire du faisceau permet des mesures à large champ sur de grandes surfaces, avec des vitesses d'itération et d'acquisition d'image rapides. L'équilibrage automatique fournit un éclairage cohérent et précis dans toute la zone d'imagerie. Combinées, ces technologies offrent une fidélité à l'image supérieure et un débit accru pour la qualification des échantillons. Le modèle TENCOR AIT II d'essai et de métrologie des plaquettes offre une plate-forme robuste et fiable pour l'inspection et la production des plaquettes. Les technologies avancées de l'équipement offrent une fidélité d'image inégalée, permettant des mesures exactes et précises avec une implication minimale de l'opérateur. Les capacités avancées de métrologie optique en font le choix idéal pour les applications de production.
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