Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9054841 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT UV est un outil avancé pour l'essai de plaquettes et la métrologie qui fournit la solution complète pour l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise l'optique haut de gamme, le contrôle de mouvement et la technologie des semi-conducteurs pour évaluer les propriétés électriques, physiques et optoélectroniques d'une variété de plaquettes. L'équipement de mesure et de métrologie de la plaquette combine plusieurs techniques de mesure pour déterminer le rendement, la performance et la fiabilité de la plaquette. Le système comprend un certain nombre d'outils et de techniques de mesure sophistiqués tels que la mesure spectrale, la mesure d'impédance électrique, la mesure du courant induit par faisceau d'électrons (EBIC), la mesure de la capacité-tension (CV), le profilage de champ électrique (EFP) et la mesure de l'interférence optique (OIM). Ces capacités de mesure sont utilisées pour fournir des renseignements précis et détaillés sur les propriétés électriques et physiques de la plaquette, telles que l'épaisseur, la résistance des feuilles, les profils dopants et la taille et l'emplacement des défauts. Les capacités avancées de cartographie des plaquettes fournies par l'unité permettent à l'utilisateur d'inspecter les plaquettes de façon rapide et précise sur une large gamme d'échelles spatiales. La machine est polyvalente et capable de traiter une variété de spécifications de plaquettes, tels que des substrats avec différents coefficients de dilatation thermique et d'arc. Les capacités de cartographie des plaquettes comprennent l'alignement et la résolution en temps réel des plaquettes avec une précision nanométrique. L'outil utilise une boucle fermée avec des sources lumineuses ultraviolettes intenses qui fournissent la métrologie optique du faisceau de route et un laser CO2 pour la métrologie du faisceau secondaire. L'actif dispose également d'un module de chargement de plaquettes en ligne qui peut traiter jusqu'à 200 plaquettes à la fois. De plus, le modèle comprend une unité d'analyse d'éléments, un équipement de contrôle de mouvement de précision pour la focalisation et le positionnement des éléments optiques, un processeur de signal à grande vitesse et un système d'acquisition de données à grande vitesse. En résumé, l'unité KLA AIT UV d'essai et de métrologie utilise plusieurs techniques avancées pour fournir des mesures et analyses précises d'une variété de wafers. Il comprend une machine en boucle fermée avec des sources lumineuses ultraviolettes intenses, une unité d'analyse d'éléments, un contrôle de mouvement et un outil d'acquisition de données à grande vitesse. En outre, l'actif offre des capacités de cartographie rapide et précise des plaquettes qui permettent à l'utilisateur d'inspecter les plaquettes individuelles rapidement et avec précision.