Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9124364 à vendre en France

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9124364
Taille de la plaquette: 6"-12"
Automated dark field defect inspection station, 6"-12" For pattern wafers 3-Spot sizes included Standard KLA AIT operator interface monitor Standard KLA AIT operator keyboard Trackball and joystick Standard KLA media devices: FD, CD Drives Operating system: Windows NT CE Marked.
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour détecter et mesurer avec précision les défauts des plaquettes semi-conductrices. Il est utilisé pour évaluer la qualité des plaquettes afin de répondre aux exigences de haute vitesse et de précision des processus de fabrication des circuits intégrés (IC). Le système est basé sur la technologie avancée d'imagerie optique et dispose de deux systèmes optiques de pointe différents : les microscopes à transformée infrarouge (FTIR) UV et nano-Fourier. Le microscope UV capture des données d'image à haute résolution et à faible bruit, tandis que le microscope FTIR facilite l'analyse chimique et la détection de particules à la surface de la plaquette. En outre, il est équipé d'une technique adaptative de balayage laser auto-positionné et d'une unité de focalisation automatique pour l'imagerie et les mesures rapides et précises. KLA AIT UV est conçu pour être une machine portative et aéroportée qui est capable de mesurer une variété de défauts de plaquettes, y compris les fosses, les rayures, les particules, les particules transparentes, les bosses, et warpage. Il peut également être utilisé pour détecter des anomalies et effectuer des analyses de surface de plaquettes. Pour une plus grande flexibilité, l'outil comprend une variété d'outils, tels qu'un programme pilote, un logiciel de cartographie des plaquettes et un contrôle d'alignement KLA exclusif AlignToVision de haute précision. Pour une haute fidélité des données, l'actif intègre un processeur de signal numérique pour supporter un traitement avancé des images et des données. Pour améliorer encore la précision, il utilise une technologie d'imagerie Microélectromécanique (MEMS) pour des corrélations fines et des mesures à haute résolution. De plus, TENCOR AIT-UV fournit des commentaires sur les caractéristiques des plaquettes, telles que le contraste, le fond, la netteté, le bruit et les détections aberrantes. Les autres caractéristiques de l'AIT UV comprennent plusieurs modes de test, le fonctionnement à distance par l'intermédiaire d'une interface Web, la protection contre les retombées de modèles robustes et le support de diverses normes SEMI. Cet équipement est également conçu pour répondre aux exigences de sécurité environnementale et industrielle, permettant son utilisation dans des environnements de fabrication difficiles. Dans l'ensemble, KLA AIT-UV est un puissant système de contrôle de la qualité qui offre des capacités d'imagerie et de métrologie fiables et à haute résolution à un prix abordable. Il permet des mesures plus rapides et plus précises et fournit des informations et des commentaires détaillés pour améliorer l'efficacité de la production.
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