Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9147837 à vendre en France

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KLA / TENCOR AIT UV
Vendu
ID: 9147837
Taille de la plaquette: 6"
Darkfield inspection system, 6".
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement de technologie d'inspection avancée (AIT) pour l'essai automatisé des plaquettes et la métrologie. Les systèmes AIT sont conçus pour relever le défi d'identifier et de mesurer les défauts les plus minimes sur les surfaces des plaquettes semi-conductrices aux fins du contrôle de la qualité. KLA AIT UV est un système unique qui exploite la lumière ultraviolette et les algorithmes avancés de traitement d'image pour inspecter les surfaces des plaquettes semi-conductrices avec le plus haut niveau de précision. L'unité utilise deux caméras à haute résolution pour capturer des images de chaque côté d'une plaquette dans laquelle l'incident et la lumière réfléchie sont disposés en cercles concentriques et la vitesse du processus d'inspection peut être choisie en fonction de l'application et des besoins. Les caméras sont configurées pour produire des images 2D complexes et transférer ces images au processeur d'images embarqué qui applique des algorithmes propriétaires pour détecter, classer et mesurer les défauts potentiels sur la plaquette. Les images capturées peuvent être stockées et analysées à l'aide de logiciels spécialisés. La machine dispose également d'une voie optique avancée qui lui permet de détecter les défauts jusqu'à une seule précision nanométrique. Une lentille optique avancée est utilisée pour projeter une image UV très détaillée de la plaquette à portée étroite et fournit une courte distance de travail pour une précision maximale. Il est capable d'inspecter des plaquettes recouvertes de couches minces, de particules, d'autres contaminants ou d'afficher des défauts dans les couches et offre une gamme complète de capacités de classification des défauts. TENCOR AIT-UV dispose également d'une large gamme de fonctionnalités d'automatisation pour faciliter les processus d'inspection. La caractérisation des défauts en temps réel, la reconnaissance des motifs et le contrôle du tri des plaquettes sont quelques-unes des caractéristiques qui aident un large éventail d'applications pour la production des plaquettes et la surveillance des processus. En outre, les capacités d'automatisation robustes fournissent des processus de test et de mesure répétables, permettant à l'opérateur d'augmenter le débit et de réduire les coûts de main-d'oeuvre. Enfin, son interface utilisateur intuitive garantit que les processus d'inspection des plaquettes sont facilement configurés et exploités, tandis que l'intégration logicielle facilite la compatibilité de l'outil avec d'autres équipements industriels. L'actif est conçu pour répondre aux normes de performance les plus élevées requises dans l'industrie des semi-conducteurs et sa combinaison d'imagerie haute résolution, de résolution microscopique et d'automatisation en font une solution idéale pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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