Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9211161 à vendre en France
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ID: 9211161
Wafer inspection system
Assy pillar AIT-UV
Raid array: (3) Hard disks
Robot type: BROOKS / PRI AUTOMATION ATM207-2-S-CE
Controller type: PRI ESC-212B
Setup disk P/N: 524140
PO Configuration:
AIT-Fusion UV final assy group
Advanced collection optics configuration with UV illumination
Adaptive mode
Technology:
Multi-spot optics: 2.2um,3.5 um and 5.0um Spot sizes
Automatic coordinate registration and alignment
Region based multi-threshold capability (RBMT)
Core technology Package
AIT Standard detection algorithms
Advanced detection algorithms
HLAT
Channel merge
Run time alignment
iADC and RTC Real time classification systems
Run time sampled image acquisition
Internal optical review microscope:
Includes:
(5) Microscope review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Bright field and dark field review modes
Autofocus capability
Integrated ULPA filter package
High resolution color flat panel display
Supports LAN connectivity over 10/100
Base-T and BNC (10 Base-2) connectors
Operations / Reference manual
KLARF File output
External panels, cleanroom white
HSMS Interface
Signal tower
(4) Colors: RYGB, standard mount 8"
Real time classification (RTC) package
Options:
Art dual open handler, 8"
iADC Option
Power supply: 208V, 3-Phase WYE
Short circuit load: 65kVA @ 208V
Full load: 75A
Operating system: Windows NT 4.0 file and printer connections (Supports).
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour fournir la meilleure précision et répétabilité des résultats d'essai des plaquettes. Il utilise l'optique avancée et la technologie d'illumination pour fournir une caractérisation optique précise pour la métrologie des plaquettes. Le système est conçu pour mesurer une variété de métriques de plaquettes, telles que l'épaisseur de la matrice, le rayon sphérique et la rugosité moyenne de la surface. KLA AIT UV est capable de mesurer les surfaces planes et cylindriques des plaquettes, et peut manipuler des échantillons d'essai avec de grandes surfaces jusqu'à 12 pouces. Ce qui rend cette unité unique est sa capacité à combiner une grande précision avec l'ultra-précision. Il est équipé wih double face wafer station de mandrin qui élimine le besoin de commutation manuelle des plaquettes. Il dispose également de deux capteurs optiques et d'une caméra haute résolution qui garantissent des résultats de précision à la fois rapide et efficace. Le matériel de pointe de la machine permet également des techniques avancées d'analyse de données, comme le montage de courbe et le montage paramétrique de surface. TENCOR AIT-UV est également extensible avec jusqu'à quatre Modules de Mouvement Ultra-Haute Vitesse, ce qui le rend idéal pour l'analyse à plus grande échelle de données provenant de plaquettes simples ou d'acquisitions de données par lots. En plus de sa technologie optique et d'éclairage de pointe, AIT UV dispose également d'une architecture d'automatisation intelligente qui simplifie les tests des plaquettes et permet un échange unifié des ensembles de données pour une couverture de test accrue. Il est entièrement intégré au logiciel d'acquisition de données standard KLA, ce qui facilite l'accès et l'analyse des résultats de test de l'outil. L'actif est également équipé d'outils de surveillance avancés et de LED d'état qui permettent un dépannage rapide et facile et la génération de journal automatisé. KLA/TENCOR AIT-UV est un modèle de test et de métrologie de plaquettes haut de gamme qui offre aux utilisateurs le meilleur en précision et en répétabilité. Il combine des tests de wafer entièrement automatisés avec des logiciels de métrologie avancés pour fournir des résultats irréprochables, maximisant le rendement de wafer et minimisant les coûts liés au retraitement. L'extensibilité de l'équipement permet également de tester et d'analyser de plus grands échantillons et ensembles de données. En résumé, AIT-UV est conçu pour garantir une performance optimale de test de plaquettes.
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