Occasion KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT UV + est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une analyse et une rétroaction pour le contrôle des processus dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise des technologies d'imagerie UV avancées pour générer des images à haute résolution pour une analyse précise. Le système offre une large gamme de capacités de métrologie qui prennent en charge une large gamme de tailles de produits d'appareils de 1,5 pouce jusqu'à des plaquettes de 12 pouces plus grandes. L'UV + utilise un appareil multi-caméras utilisant à la fois un dispositif à couplage de charge (CCD) et un éclairage ultraviolet de haute puissance (UV) dans les processus de dépôt à basse température. Cette combinaison de caméras permet l'imagerie de fonctionnalités jusqu'à 0,36 µm et peut être configurée pour les modes d'imagerie 2D ou 3D. La machine peut être utilisée pour mesurer un certain nombre de paramètres, y compris la topographie, la contrainte, les géométries, le recouvrement, l'enregistrement de recouvrement, les niveaux de réflectance, la résistivité de contact et les couches de matériaux. L'outil dispose d'outils de reconnaissance automatisés et de logiciels d'analyse et d'analyse entièrement automatisés. Le logiciel de l'actif permet de programmer des opérations personnalisées pour effectuer des tâches spécifiques de test et d'analyse de plaquettes. Le modèle a des capacités avancées d'inspection des plaquettes, en utilisant des algorithmes spécialisés pour détecter les défauts des motifs, y compris la rugosité, les vides, le décalage des motifs, le pontage, et les caractéristiques manquantes. Il peut également inspecter une gamme de matériaux avancés et de circuits avancés, tels que les nanotubes de carbone et les dispositifs à mémoire non volatile. Des méthodes d'analyse peuvent également être utilisées pour détecter et mesurer d'autres caractéristiques liées au matériau telles que la vitesse de gravure, le courant de seuil, les caractéristiques du transistor et la variance d'empilement. L'équipement dispose de capacités de nettoyage et de manutention qui permettent d'améliorer le rendement des plaquettes et le contrôle des processus. Il dispose également de processus de manutention intégrés qui automatisent la manutention des plaquettes. Le système a des fonctionnalités comme l'ID cible programmable pour soutenir l'enregistrement avancé des opérations de fabrication et de diagnostic. Dans l'ensemble, KLA AIT UV + est une unité d'essai et de métrologie de plaquettes puissante et complète qui offre une large gamme de capacités pour le contrôle et l'analyse de processus dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il offre une grande précision et des mesures répétables avec une flexibilité réglable pour garantir une qualité optimale du produit final.