Occasion KLA / TENCOR AIT UV+ #9228105 à vendre en France
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KLA/TENCOR AIT UV + est un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes de haute précision conçu pour permettre les mesures les plus précises et les plus complètes des plaquettes utilisées dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Le système permet aux fabricants de plaquettes de mesurer avec précision la forme et la taille des composants sur la plaquette, tels que les pentes, les marches et les profils. L'unité combine plusieurs technologies pour créer une mesure complète des propriétés des plaquettes. La machine commence avec un outil de balayage laser à double faisceau pour une cartographie précise de la forme et des caractéristiques de la plaquette. Le laser balaye et capture une image de la surface des plaquettes. Cette image subit alors une analyse afin de créer une carte 3D des caractéristiques de surface. Ceci est accompagné d'une étape de topographie globale détectée optiquement qui est utilisée pour examiner la planéité globale de la surface. L'actif UV + comprend une technologie brevetée de réflectance ultraviolette qui capture les mesures spécifiques à la matière de la topographie, permettant des mesures directes de la matière relative. Cette technique permet au modèle de mesurer avec une extrême précision l'épaisseur, les contours, les marches et les dendrites des plaquettes. L'équipement comprend également une option multicanal élargie pour des mesures plus complètes des matériaux et des caractéristiques de forme. Cette capacité de mesure accrue est rendue encore plus puissante avec l'inclusion d'outils logiciels de contrôle des méthodes. Ces caractéristiques permettent aux fabricants de plaquettes de mettre en place et d'exécuter rapidement des protocoles de test précis spécifiques à leurs besoins de production. Le système KLA AIT UV + est une plate-forme d'essai et de métrologie de plaquettes puissante et très précise capable de fournir des mesures de précision pour les plaquettes utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa combinaison de technologies de balayage laser et de réflectance UV garantit des mesures précises de la forme et des caractéristiques des matériaux, tandis que ses outils de contrôle des méthodes basés sur des logiciels permettent des tests efficaces et reproductibles. Ensemble, l'unité est un outil précieux pour mesurer avec précision la forme et la taille des composants sur la plaquette.
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