Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9257792 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257792
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Dark field wafer particle inspection system, 8"
(2) Open cassette wafer loaders
SECS-GEM
High resolution image grab
HLAT
IADC
Patch grab
Real time classification
RTA
Signal tower
Spot size: 2.2 UM
Spot size: 3.5 UM
Spot size: 5 UM
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
(2) Cassette ports
KM-803P-K Wafer cassette 8" PP
No SMIF Interface
Advanced patterned wafer inspection system
Laser: UV Laser for 90 mW (364 nm)
Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x
Computer
Image computer
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD)
Wafer handler: Dual open cassette loader, 8"
Robot
Prealigner
Includes:
Pillar module
Blower unit
No PSL 0.494 um wafer
No caltile wafer
CE Marked
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour diagnostiquer rapidement et précisément les défauts des dispositifs semi-conducteurs. Il inspecte la surface des dés et des matrices sur les plaquettes semi-conductrices pour révéler et analyser les défauts potentiels, tels que les rayures, les fosses, les puces et les vides. KLA AIT UV utilise la lithographie UV et la technologie de déplacement optique pour localiser et inspecter la surface des zones d'appareils inspectés. Les systèmes objectif haute résolution est capable de sonder les zones du dispositif, de détecter les vides, les fissures, les défauts et autres anomalies. La capacité d'imagerie haute résolution offre à l'utilisateur un ensemble puissant d'outils de traitement d'image pour examiner et analyser les résultats. TENCOR AIT-UV peut inspecter les appareils dans une variété de formats, y compris les matrices nues, les composants emballés, les substrats à fibres et les écrans durcis et non durcis. Il est capable d'effectuer une imagerie sans contact aux rayons X, d'offrir un grossissement sans distorsion et de fournir une rétroaction sur la taille des lignes fines, la taille des transistors et d'autres paramètres du dispositif. De plus, la technologie avancée d'adaptation des motifs de KLA AIT-UV est conçue pour inspecter rapidement divers éléments de l'appareil inspecté et pour valider des images. Ces données sont ensuite utilisées pour identifier les écarts potentiels qui pourraient être présents entre l'instrument inspecté et la conception de base. KLA/TENCOR AIT-UV dispose également de la capacité d'exécuter une variété de tests d'analyse de données. Ces tests peuvent être utilisés pour diagnostiquer les défauts et analyser les problèmes de rendement, tels que le rendement en aval et la qualité du produit. Son système automatisé peut effectuer plusieurs tests sur la même plaquette en une seule passe, économisant du temps et de l'argent. En outre, il offre des capacités de métrologie avancées qui peuvent être utilisées pour évaluer les données de fab rendement. AIT UV dispose d'une unité logicielle conviviale qui simplifie le processus de test et de métrologie. L'interface utilisateur avancée permet aux utilisateurs de créer et de stocker des recettes, de programmer plusieurs étapes de test, et de mettre fin aux sessions de test chaque fois que nécessaire. Cela rend la machine extrêmement flexible et rapide - les utilisateurs peuvent rapidement configurer et exécuter des tests avec un minimum d'effort. Dans l'ensemble, TENCOR AIT UV est un outil polyvalent et puissant de test de plaquettes et de métrologie qui fournit aux utilisateurs une méthode efficace et précise de localisation et de diagnostic des défauts dans les dispositifs semi-conducteurs. Grâce à sa capacité d'imagerie haute résolution et à sa technologie innovante d'adaptation des motifs, l'actif est idéal pour effectuer une inspection et une analyse rapides des zones des appareils de haute précision.
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