Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9285827 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9285827
Taille de la plaquette: 12"
Darkfield inspection system, 12"
SECS II / GEM Communication interface
High resolution chuck
Image grab feature
Multi channel collection optics system with independent programmable spatial filters and adaptive PMT modules
Image process computer
Blue laser: 448 nm
(2) FOUP Load ports
0.1 Micron detection
Un-patterned recipe capability.
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement de métrologie de nouvelle génération. Son but est de mesurer la qualité des plaquettes produites dans un environnement de fabrication. Il s'agit d'un processus essentiel dans la production des CI, qui nécessitent une précision dimensionnelle précise et un contrôle du processus. Le système utilise une combinaison de techniques pour inspecter la plaquette dans un environnement ultra-violet. La technologie utilise des capacités avancées d'imagerie, de profilage de faisceaux et de marquage pour mesurer la surface de la plaquette jusqu'à la précision du nanomètre. Cela inclut la cartographie optique et acoustique de la plaquette. L'unité d'imagerie dispose d'un microscope confocal haute performance. Cela permet une analyse plus rigoureuse et plus précise que d'autres systèmes. Sa résolution et sa précision permettent de mesurer les caractéristiques de surface au niveau du nanomètre. Il est capable de détecter la topographie, la finition de surface et l'uniformité. La machine de profilage de faisceau utilise des capacités de mesure bidimensionnelles en forme de faisceau. Il permet une caractérisation rapide et précise de la surface de la plaquette. Ceci permet d'assurer une bonne relation entre la plaquette et le substrat. De plus, l'outil de modélisation comprend un transfert de fonctions inspecté à l'échelle nanométrique. Ce procédé permet de transférer une couche structurée d'un substrat à l'autre. Cela aide à améliorer les paramètres du processus et à maintenir la précision nécessaire à la fabrication. Cet actif de métrologie haute performance fournit d'excellents résultats et une fiabilité excellente. Il est capable de mesurer les caractéristiques critiques de la plaquette, et aide à s'assurer que les plaquettes sont conformes aux spécifications souhaitées. KLA AIT UV est la clé de la qualité soutenue de la production de plaquettes et des paramètres de processus optimisés. Le modèle offre précision, précision et répétabilité nécessaires pour s'assurer que seules les plaquettes acceptables sont utilisées dans le processus de fabrication.
Il n'y a pas encore de critiques