Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9285844 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT UV est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie qui mesure les propriétés électriques des plaquettes à l'échelle nanométrique. Il fournit des mesures automatisées et non destructives des propriétés électriques des plaquettes, telles que la tension de claquage, la résistance et la capacité, ainsi que d'offrir une gamme complète de capacités de métrologie des semi-conducteurs avec la même haute précision. Le système KLA AIT UV comprend plusieurs composants. Un capteur de caméra Ultra-Violet est utilisé pour détecter les structures semi-conductrices, permettant la visualisation et le test automatisés de structures individuelles. La caméra utilise des filtres pour détecter différentes longueurs d'onde UV, fournissant des mesures précises et répétables. L'unité comprend une unité de commande d'impulsion et de polarisation, utilisée pour créer une impulsion de test à la plaquette. Cette structure de sonde de courant pulsé (PCPS) est capable de détecter et de mesurer avec précision les propriétés des semi-conducteurs, y compris la tension de claquage et la collecte de charge, sur un cycle de répétition. TENCOR AIT-UV opère dans un certain nombre de modes d'image, y compris l'imagerie de zone complète, l'imagerie de zone partielle, l'imagerie de ligne et la couture d'image. Chaque mode d'image a ses propres scans, selon l'application spécifique. Par exemple, l'imagerie de surface partielle est utilisée pour mesurer les performances d'un seul dispositif sur la plaquette. L'imagerie par balayage de ligne est utilisée pour mesurer les propriétés électriques des plaquettes avec plusieurs éléments d'appareil, tels que les chipsets. La couture d'image est utilisée pour les grandes structures de plaquettes, où l'image est divisée en sous-balayages pour obtenir plus de détails. L'interface utilisateur graphique (interface graphique) de la machine fournit une visibilité en temps réel sur les données et la façon dont elle est affectée par les conditions de test des plaquettes. L'analyse est accélérée par les capacités de traitement multi-canaux de l'outil, permettant à l'utilisateur de revoir les images et de modifier les stratégies d'analyse tout en effectuant des mesures sur plusieurs canaux. La fonction Advanced Intelligent Test (AIT) permet l'analyse automatisée des résultats des tests et des recommandations pour ajuster les paramètres ou les conditions d'expérimentation. Les résultats peuvent être stockés et exploités de façon transparente pour d'autres recherches. AIT UV est un atout puissant utilisé pour assurer une mesure électrique précise des structures de plaquettes. Ses fonctionnalités avancées garantissent une imagerie précise, tandis que sa conception centrée sur l'utilisateur fournit des données précises, répétables et fiables. C'est un modèle d'essai et de métrologie idéal pour la recherche, la conception et la fabrication de semi-conducteurs.