Occasion KLA / TENCOR AIT UV #9285845 à vendre en France

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9285845
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR AIT UV est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie capable de contrôler les dimensions avancées et les défauts des plaquettes semi-conductrices. Il mesure avec précision la largeur, la longueur, la forme et d'autres caractéristiques des structures sur une plaquette semi-conductrice pour détecter de très petits défauts ou irrégularités. Il est équipé d'une source lumineuse ultraviolette (UV) unique qui fournit une imagerie de contraste élevé. Ce système détecte de très petits défauts aussi bas que 0,5 micromètre et peut mesurer des caractéristiques jusqu'à 10 nanomètres. L'unité KLA AIT UV est entièrement automatisée et permet de mesurer les structures planes et 3D sur la plaquette. Il offre une résolution, une sensibilité et une vitesse supérieures, ainsi que des fonctionnalités telles que la focalisation automatique sur la surface de la plaquette, des fonctions de mémoire pour des mesures plus rapides et un balayage d'échantillons et une métrologie simultanés. Sa plate-forme de microscopie avancée est basée sur une optique indépendante de la plate-forme KLA, permettant de mesurer diverses caractéristiques à la surface de la plaquette en même temps. TENCOR AIT-UV est également conçu pour supporter une large gamme de types et de tailles de plaquettes. Il peut être configuré avec plusieurs lasers, détecteurs, caméras et sources lumineuses pour répondre aux besoins spécifiques de chaque application. Il est également livré avec une fenêtre UV avancée pour des mesures rapides et précises des plaquettes, et une interface utilisateur intuitive qui permet une commutation rapide entre les applications. La machine est également capable d'analyser les images, de vérifier les données et d'identifier les défauts. L'AIT-UV est également équipé d'outils de métrologie avancés qui permettent de saisir un large éventail de données, y compris la topographie 3D pour des tests de défauts précis et l'imagerie 3D. Il a la capacité d'examiner plusieurs caractéristiques d'une plaquette simultanément tout en fournissant une grande vitesse, une grande précision, et la répétabilité. L'outil est également capable de détecter un large éventail de défauts, allant de petites anomalies à des défauts macro-niveaux, permettant une isolation efficace des défauts et la réparation des plaquettes. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR AIT-UV est un actif avancé d'essai de plaquettes et de métrologie. Il offre une précision et une sensibilité de pointe pour l'inspection des défauts et la mesure des caractéristiques, et est conçu pour supporter une variété de types et de tailles de plaquettes. Ses caractéristiques comprennent une source de lumière UV unique, une plate-forme de microscopie avancée, l'analyse d'images, la vérification des données et l'identification des défauts. AIT UV est un modèle fiable, efficace et polyvalent qui offre un avantage économique supérieur à celui d'autres outils similaires.
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