Occasion KLA / TENCOR AIT XP+ #9087846 à vendre en France
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ID: 9087846
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Patterned wafer inspection system, 8"
Handler: (2) SMIF Ports type: Asyst – INX2200
Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI)
GEM / SECS HSMS SFTWFR
SW (OS): ms-Windows NT 4.0 SP6
SW (APP): 6.2 Build 40 SP14
180-264 V, 60 A, 50/60Hz, EU (4-Pole, 5-Wire)
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP + est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour permettre le plus haut niveau de contrôle des processus et d'utilisation des actifs pour les magasins de masques, les usines de plaquettes et autres fonderies de semi-conducteurs. Il combine la métrologie à couches multiples d'énergie et l'imagerie à grande surface pour permettre des mesures rapides et répétables des caractéristiques complexes des appareils. Le système utilise des technologies informatiques de pointe telles que l'apprentissage profond et l'intelligence artificielle pour permettre l'élimination de l'inspection des particules et de la surface et réduire les temps d'arrêt. L'unité est également capable de traiter plusieurs plaquettes à un seul instant. La machine utilise la métrologie à 6 couches pour mesurer différents aspects du dispositif, tels que l'épaisseur, la géométrie et le contour, avec une précision impressionnante allant jusqu'à 14nm. Il dispose d'une variété de caractéristiques et de capacités pour assurer des mesures précises et répétables et un contrôle fiable des processus. L'outil est conçu pour les applications autonomes et en ligne, et est capable de contrôler et de surveiller les processus en ligne à la fois par la surveillance continue et le contrôle des événements, ainsi que pour permettre le contrôle des bords. Des capacités supplémentaires telles que le contrôle des processus et l'extraction de données offrent un contrôle plus précis des paramètres des processus et permettent d'améliorer les rendements des processus. En outre, l'actif est capable de classification automatique des défauts et de validation des processus basée sur les défauts, jusqu'à trois fois plus rapide que les modèles précédents. Sa capacité à détecter les défauts de matériaux entrants et à les classer offre des processus plus efficaces pour les essais de plaquettes et la métrologie. Enfin, le modèle dispose également d'une gamme de logiciels et d'options de communication. Cela comprend deux ports Ethernet et deux ports RS-232 pour la communication externe, ainsi que des logiciels disponibles pour la collecte, l'analyse et la communication de données. Dans l'ensemble, KLA AIT XP + est un équipement avancé, puissant et fiable qui répond aux exigences les plus exigeantes de l'industrie en matière d'essais de plaquettes et de métrologie. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités et de capacités pour assurer des mesures précises et répétables et un contrôle fiable des processus. Il comprend également des options complètes de logiciel, de communication et de réseautage pour assurer une utilisation harmonieuse du système dans presque n'importe quel environnement de fonderie
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