Occasion KLA / TENCOR AIT #149932 à vendre en France

KLA/TENCOR AIT (Advanced Inspection Technologies) est un équipement complet et intégré d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour répondre aux besoins critiques des applications avancées de semi-conducteurs. Le système combine les techniques et méthodes les plus avancées sur le plan technologique pour évaluer, mesurer et caractériser un large éventail de types de plaquettes, de géométrie et de propriétés. L'unité est construite à l'aide de l'optique de pointe, de l'imagerie et de la vision informatique combinés à des logiciels d'analyse physique et de métrologie. Les principaux éléments de KLA AIT comprennent une caméra haute résolution, des outils de traitement d'images, un microscope électronique à balayage (SEM), une machine de capture et de reconstruction d'images, un réticule photomasque, un laser et un profileur 3D. La caméra haute résolution détecte les changements mineurs dans la forme et la topologie des plaquettes pour identifier les imperfections subtiles qui autrement pourraient être négligées. En outre, il combine cela avec des logiciels d'imagerie et de contrôle de mouvement pour fournir le plus haut niveau de précision et l'alignement précis des plaquettes. Le SEM est capable de produire des images de la surface de la plaquette et peut détecter une variété de défauts qui ne seraient pas détectables à l'aide de la caméra. Son analyse précise des caractéristiques présentes sur la plaquette, telles que l'humidité et les défauts, peut identifier les problèmes au début du processus de production. L'outil de capture et de reconstruction d'images permet une inspection 3D précise de la plaquette. Les caractéristiques telles que la morphologie de surface et les défauts peuvent être analysées pour la taille et la forme. Ces informations peuvent être combinées avec l'imagerie de la caméra et les données SEM pour identifier avec précision les défauts sur la plaquette. Le réticule photomasque permet une évaluation détaillée de l'alignement des composants de la plaquette. Le laser à balayage est utilisé pour graver la plaquette avec des motifs, et le profileur tridimensionnel fournit des informations générales sur la forme et les dimensions. Enfin, TENCOR AIT peut être intégré à d'autres instruments de métrologie, comme les microscopes à force atomique (AFM) et les interféromètres à balayage de lumière blanche (SWLI), afin de fournir une gamme complète de capacités d'essai et de métrologie des plaquettes. En résumé, l'AIT est un atout avancé en matière d'essais et de métrologie de plaquettes qui combine la technologie la plus récente et des logiciels sophistiqués pour détecter et caractériser une variété de types, de géométries et de caractéristiques de plaquettes. En utilisant des composants de pointe et en s'intégrant à d'autres instruments de métrologie, il fournit aux fabricants de semi-conducteurs un ensemble complet, précis et précis de capacités d'essai et d'analyse des plaquettes.