Occasion KLA / TENCOR AIT #9252969 à vendre en France
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ID: 9252969
Inspection system
P/N: 505277
BROOKS AUTOMATION ESC 212 Controller
TQC Process.
KLA/TENCOR AIT est un équipement d'essai et de métrologie utilisé principalement dans l'industrie des semi-conducteurs. Il combine une suite de systèmes automatisés d'inspection optique (AOI) et du matériel et des logiciels de métrologie avancés pour fournir des capacités de numérisation, d'analyse et de mesure automatisées des plaquettes à grande vitesse. Le système est conçu pour les essais de wafer à haut volume et la métrologie, ce qui permet d'améliorer le débit et d'accélérer le délai de mise sur le marché. L'unité AIT de l'UCK comprend un équipement d'essai automatisé (ATE) et une machine de mesure optique intégrée (OMS) pour fournir des capacités complètes d'essai et de métrologie. L'actif optique de l'outil est utilisé pour trouver et localiser avec précision les défauts, ainsi que pour mesurer tout type de transistor, y compris les dispositifs à petite géométrie à grande échelle. L'OMS comprend une caméra haute résolution qui peut fournir une résolution de 2 µm à travers la plaquette, ainsi qu'une gamme d'outils d'inspection optique et de métrologie. Le modèle TENCOR AIT dispose également d'un équipement de contrôle des motifs (PCS) pour les essais automatisés et la métrologie, fournissant des données en temps réel sur les défauts, la forme, la taille et la couleur. La technologie de réponse adaptative du SCP permet un alignement plus précis et une extraction des caractéristiques, ce qui entraîne une augmentation significative des rendements. Le système comprend également une unité de suivi des plaquettes (WTS) qui intègre les technologies OMS, PCS et autres afin de surveiller le mouvement des plaquettes et de prévenir la contamination. Le logiciel AIT dispose d'un ensemble d'outils graphiques conviviaux qui offrent un accès rapide et facile aux tests et aux capacités de métrologie de l'outil. Il comprend des outils intégrés d'analyse de données pour visualiser rapidement les résultats, ainsi qu'un ensemble d'outils d'identification de motifs pour faciliter la sélection et l'analyse des défauts. L'actif comprend également une suite de fonctions d'analyse des plaquettes pour le diagnostic des lignes de production, le contrôle des processus et l'optimisation des processus. Bref, KLA/TENCOR AIT est un modèle complet d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour améliorer le débit, réduire les délais de commercialisation et maximiser les rendements. Il fournit un équipement AOI intégré avec du matériel et des logiciels de métrologie avancés, permettant des tests automatisés, l'analyse et la mesure des transistors à l'échelle nanométrique. Avec ses outils conviviaux et ses fonctions intégrées d'analyse de données, le système AIT KLA offre une option efficace et rentable pour la fabrication de semi-conducteurs.
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