Occasion KLA / TENCOR AIT #9256108 à vendre en France
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KLA/TENCOR AIT est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes intégrant des technologies d'essai et d'inspection pour l'analyse des plaquettes à semi-conducteurs à haute productivité. Le système est conçu pour permettre des vitesses d'essai de pointe et des mesures de précision de l'espace pour les architectures 2D et 3D. KLA AIT combine des applications et des fonctions sophistiquées, fournissant un alignement automatisé, la détection des tests, la reconnaissance et la classification des défauts, la métrologie de haute précision, et l'analyse de corrélation sur une plate-forme unique. L'unité d'essai de la plaquette est composée d'un seul module qui combine plusieurs caractéristiques importantes telles que l'étalonnage hors ligne, le balayage à grande vitesse et à grand champ de vision, l'auto-alignement fiable, le contrôle statistique des processus, la corrélation entre la plaquette et la plaquette et les essais in situ. La machine est capable de manipuler des plaquettes de grande taille jusqu'à 300 mm de diamètre, avec une précision de détection des défauts supérieure pour un rendement amélioré. Sa technologie de test de pointe fournit à la fois des contrôles de défauts à haut débit et des mesures simultanées multi-capteurs. L'outil TENCOR AIT dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive pour un fonctionnement facile et d'un matériel puissant pour des performances de test fiables et robustes. L'actif utilise un modèle d'alignement optique de haute précision pour des temps d'exposition plus courts et un alignement automatisé des plaquettes dans différentes technologies de détection. Cette fonction garantit une précision constante et des mesures répétables pour toutes les configurations d'essai. De plus, l'équipement est conçu pour avoir un groupement souple pour la mesure simultanée de plusieurs échantillons, permettant un débit de test plus rapide. Il propose également des solutions intelligentes de gestion des défauts, des systèmes de caméras améliorés, des algorithmes pour une meilleure corrélation et des capacités avancées de cartographie des plaquettes. AIT est capable de détecter et de classer même les défauts les plus subtils, aidant les clients à optimiser leurs processus de fabrication de plaquettes et à améliorer leur rendement. Le système fait partie intégrante des opérations fab avancées, fournissant des mesures cohérentes des plaquettes et des résultats d'essai pour chaque application. En outre, la suite logicielle offre de puissantes capacités d'analyse de données, fournissant une visualisation en temps réel des résultats des tests. Cela permet aux clients de résoudre facilement les problèmes de processus et d'améliorer la performance globale du processus.
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