Occasion KLA / TENCOR AIT #9389839 à vendre en France
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KLA/TENCOR AIT, un équipement d'essai et de métrologie des plaquettes, sont des systèmes automatisés d'inspection et de métrologie des plaquettes pour les exigences avancées de fabrication de semi-conducteurs. Il se compose d'un cadre métallique avec plusieurs outils robotiques automatisés, qui permettent une orientation précise de la plaquette sur la table de mandrin, un nettoyage par ultrasons, une inspection optique et une métrologie nécessaire. Le système comprend typiquement un interféromètre laser et un logiciel qui permet un contrôle complet du dispositif. L'interféromètre laser est utilisé pour mesurer tout changement de distance ou de localisation sur les surfaces des plaquettes. L'unité peut mesurer l'épaisseur, la planéité et la rugosité de surface des plaquettes avec une précision allant jusqu'à 1nm. La machine comprend également un outil de vision automatisé, qui comprend des caméras haute résolution, des optiques, des lasers et de l'éclairage, qui peut être programmé pour une détection personnalisée. Il peut détecter tout type de contamination ou de défauts à la surface de la plaquette, comme les fissures, les inclusions, les particules et les rayures. En outre, il peut détecter la présence de motifs sur la plaquette et produire une corrélation détaillée. En outre, l'actif comprend également l'échantillonnage automatisé et l'acquisition d'images ainsi que des technologies exclusives pour fournir des points de données fiables pour l'assurance du rendement. Par exemple, il peut comparer des images prises de plaquettes avec des paramètres prédéfinis pour déterminer les niveaux d'uniformité et de cohérence. En outre, le modèle permet aux utilisateurs de gérer plusieurs processus et d'effectuer des expériences analytiques. Il offre des outils complets d'analyse de données qui permettent aux opérateurs d'analyser les tendances et le comportement des plaquettes à l'aide d'une sortie graphique avancée. Il peut également aider à identifier les paramètres de processus et d'autres variables d'équipement qui peuvent nécessiter un ajustement pour une performance de production optimale. En raison de sa flexibilité et de sa capacité, KLA AIT est largement acceptée dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système augmente considérablement le taux de production et réduit les coûts en fournissant des capacités d'inspection automatisées et d'acquisition de données à grande vitesse. De plus, il réduit considérablement le temps d'inspection avec des vitesses de balayage allant jusqu'à 800 plaquettes par heure. Dans l'ensemble, TENCOR AIT est une unité avancée qui aide les fabricants de semi-conducteurs à accroître leur productivité, leur qualité et leur rentabilité. Ses outils automatisés offrent des points de données fiables pour l'analyse, permettant aux utilisateurs de prendre des mesures immédiates pour assurer l'optimisation des processus. En outre, sa machine de vision automatisée fournit une analyse détaillée de la contamination et des défauts. L'outil est extrêmement fiable et rentable, aidant les entreprises à réduire le temps d'inspection et à augmenter le rendement des bonnes plaquettes.
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