Occasion KLA / TENCOR Aleris 8350 #9375870 à vendre en France

KLA/TENCOR Aleris 8350 est un équipement de test et de métrologie des plaquettes à haute sensibilité conçu pour permettre une analyse précise de l'uniformité des plaquettes avec une haute résolution. Le système est utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour assurer une qualité constante du produit. KLA Aleris 8350 propose une suite d'outils de métrologie pour l'essai de plaquettes, dont un profileur de surface, un outil de mesure optique de CD et un détecteur de particules. Le profileur de surface mesure les dimensions critiques et les épaisseurs des caractéristiques des plaquettes telles que les tranchées, les portes et les structures factices. L'outil de mesure optique CD offre une grande sensibilité et précision pour la mesure de la largeur de ligne, de l'espace, de la profondeur et du profil sur différentes profondeurs de couche. Le détecteur de particules est capable de détecter des particules jusqu'à 10nm, permettant le rejet de toutes particules susceptibles de contaminer la surface de la plaquette. L'unité est équipée d'une caméra haute résolution qui fournit des images haute résolution de formes de plaquettes, et la lumière UV pour les défauts de visualisation, tels que les vides, les défauts, et les particules. La machine peut également être utilisée pour contrôler les paramètres du processus, tels que la vitesse de gravure et la pression de la chambre. TENCOR Aleris 8350 est équipé d'un algorithme propriétaire de traitement d'image pour s'assurer que les données sont collectées et interprétées avec précision. Cet algorithme traite les images pour ajouter des fonctionnalités, détecter les défauts et mesurer la largeur de ligne, la largeur de l'espace et l'épaisseur de couche de façon cohérente et précise. L'outil comprend un logiciel automatisé pour l'acquisition, l'analyse et la déclaration des données. Il peut être utilisé pour enregistrer les résultats des tests et générer des rapports de données dans une variété de formats, y compris PDF et Microsoft Excel. L'actif peut également être utilisé pour surveiller la forme et l'état des plaquettes avec des affichages en temps réel pour l'information statistique. Aleris 8350 propose des solutions de test et de métrologie avec une précision, une précision et une répétabilité élevées. C'est un outil important dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour assurer une qualité constante du produit. Ce modèle peut être utilisé pour recueillir des données fiables et générer des rapports afin de stimuler l'optimisation et la cohérence.