Occasion KLA / TENCOR Aleris CX #9380621 à vendre en France
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ID: 9380621
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Film thickness measurement system, 12"
(3) Loadports with KAWASAKI robot
With Hard Disc Drive (HDD)
P/N: 020276-001
2007 vintage.
KLA/TENCOR Aleris CX est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS. Il intègre les dernières technologies d'imagerie optique et de radiographie dans une plate-forme à haut volume pour réduire les niveaux de défauts et améliorer le rendement. Il permet de réduire le temps de cycle et d'augmenter le débit de production. KLA Aleris CX utilise un système d'imagerie haute vitesse de 600 mm capable d'inspecter des milliers de plaquettes par heure. Il offre une capacité de collecte d'informations en deux dimensions (2D) grâce à une configuration double tête et une architecture multi-tête optionnelle pour les produits exclusifs. Cela donne à l'unité quatre volumes d'imagerie avec six caméras positionnées indépendamment (deux chacune pour défocaliser, caractériser et diffracter l'imagerie). En outre, la machine d'imagerie est facilement réglable, ce qui lui permet de capturer les caractéristiques de surface et les caractéristiques souterraines plus profondes des plaquettes fabriquées. L'outil utilise des algorithmes propriétaires KLA pour effectuer l'inspection et la caractérisation des défauts. Ces algorithmes permettent à TENCOR Aleris CX de détecter les défauts émergents et les modes de défaillance multiples avec une grande précision et sensibilité. Aleris CX aide également à automatiser la corrélation inline des processus wafer-to-wafer et wafer-to-reticle. Il permet de comparer les résultats des inspections entre les wafers ou les processus, afin d'identifier rapidement les excursions de processus et les défauts. L'actif offre une capture d'image rapide, une mesure de l'inclinaison du détecteur et une localisation rapide des défauts. Il peut également effectuer une profilométrie approfondie et une analyse détaillée de la topographie 3D. De plus, la capacité d'imagerie par rayons X de KLA/TENCOR Aleris CX lui permet de détecter des empilements de matériaux en couches minces sur des plaquettes non conventionnelles. KLA Aleris CX dispose d'une interface graphique intuitive et conviviale (interface graphique). Cette interface intuitive, combinée à un processus d'intégration flexible et à une architecture logicielle modulaire, offre une solution polyvalente de test de plaquettes pour les fabricants. Avec ses caractéristiques d'imagerie et de métrologie haute performance, TENCOR Aleris CX est un choix idéal pour les essais de plaquettes et la gestion des rendements pour la production de semi-conducteurs et d'autres industries telles que la fabrication de MEMS et de dispositifs biomédicaux. Le modèle peut faciliter les économies en réduisant les délais de commercialisation, en améliorant le contrôle des processus et en augmentant les rendements.
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