Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 100 #293606740 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step 100 est un équipement de « wafer testing and metrology » conçu pour être utilisé dans les laboratoires de recherche et développement de semi-conducteurs, la production d'électronique industrielle et les applications connexes. Il combine la profilométrie de surface à contact avancé, l'imagerie à dimension critique optique sans contact (CD) et la métrologie de topographie sans contact dans une seule plate-forme automatisée. Le système prend en charge le balayage manuel et automatisé, ce qui permet de mesurer et d'analyser la topographie de surface, la taille des grains, le profil transversal, la forme des plaquettes, le biseautage des bords, le recouvrement et les données micrographiques. KLA Alpha Step 100 offre une variété d'options pour les mesures de profilométrie de surface, y compris le balayage des contacts, le repérage sans contact, la mesure des contraintes et l'imagerie lamellaire. Le mode de balayage par contact mesure la surface d'un échantillon par contact direct, tandis que le mode de traçage sans contact acquiert des profils de surface à haute résolution sans contact direct. De plus, l'option de décompression mesure avec précision les changements de forme induits par la contrainte dans les échantillons soumis à un traitement thermique, mécanique ou chimique. Le mode d'imagerie lamellaire permet aux utilisateurs de mesurer les distributions granulométriques dans les matériaux en aluminium, tandis que le mode de mesure anisotropique permet de mesurer l'anisotropie dans diverses conditions de surface. Pour l'imagerie optique CD, TENCOR Alpha Step 100 dispose de plusieurs logiciels, tels que Metrotool, Wafertool, Spyglass et Lottolkit. Elles permettent l'imagerie sans contact de caractéristiques de processus telles que les géométries de grille, les largeurs de ligne et d'espace, le profil transversal et les données de superposition. La capacité de métrologie topographique utilise des techniques avancées sans contact, telles que l'interférométrie, la tomographie par cohérence optique (PTOM) et la microscopie confocale, pour mesurer la forme et les surfaces des échantillons avec une haute résolution. L'unité fournit également la détection et la mesure automatisées du biseau de bord et d'autres caractéristiques composites. En plus de ses différentes capacités de mesure, Alpha Step 100 offre une gamme de fonctions de traitement automatisé de données, telles que la détection de bord sélectionnée par l'utilisateur, l'analyse automatisée des particules, le piquage et le carrelage automatiques d'images et la reconstruction de fausses couleurs. La fonction de numérisation automatisée de la machine permet une collecte de données rapide et précise, tandis que son logiciel de contrôle intuitif permet aux utilisateurs de contrôler sans effort toutes les fonctions d'acquisition de matériel et de données. Dans l'ensemble, l'outil KLA/TENCOR Alpha Step 100 fournit des mesures fiables et précises pour les essais de plaquettes et la métrologie. Il s'agit d'un atout polyvalent, facile à utiliser et rentable pour les études en un seul point et en plusieurs points.