Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 100 #9016122 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step 100 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui peut être utilisé pour des mesures optiques non destructives et la topographie 3D des caractéristiques d'échelle nanométrique. Ce système permet de mesurer avec précision les structures des dispositifs, les épaisseurs multiples des couches de fixation et les dimensions critiques sur les plaquettes semi-conductrices et autres substrats. KLA Alpha Step 100 dispose d'un microscope à balayage tunnel (STM) et d'un interféromètre à quatre cellules (QCI) pour mesurer avec précision une grande variété de paramètres. La STM fonctionne dans un environnement sous vide et permet l'imagerie des caractéristiques de surface avec une précision au niveau du nanomètre. Le QCI mesure les épaisseurs de film au niveau des nanomètres, en plus des caractéristiques topographiques 3D des surfaces des plaquettes. L'unité dispose également d'un profilomètre de surface sans contact qui capture des images 3D de surfaces avec une résolution d'image de 2,5 nanomètres. Le profilomètre recueille des données topographiques et de surface, en plus des propriétés matérielles comme la rugosité de surface. TENCOR Alpha Step 100 est capable de détecter même les défauts les plus subtils et fournit le plus haut niveau de précision pour la mesure des plaquettes et l'inspection d'impression. Il dispose d'un programme avancé d'analyse par déphasage qui permet de détecter les problèmes de surexposition et de sous-exposition. La machine comprend également un ensemble d'analyse pour mesurer les dimensions critiques et la largeur des lignes d'adressage, la rugosité des bords de ligne, la variation de la largeur des lignes et de l'espace, et le recouvrement entre les couches. Alpha Step 100 peut être intégré avec des outils de mesure pour d'autres applications telles que la surveillance des processus et l'analyse du rendement. En outre, cet outil peut être utilisé avec une fonction d'autostage pour permettre des tests à haut débit. L'actif est également équipé d'une tête optique pilotée par ordinateur qui permet l'alignement et la mesure multi-échantillons sans contact, permettant des tests de haute précision en un seul passage. Ceci est crucial pour la qualification des plaquettes et la dérive des processus de suivi de l'outil à l'outil et à travers les cycles de processus. En outre, KLA/TENCOR Alpha Step 100 dispose d'un étage de plaquette programmable, avec plusieurs échantillons orientés dans différentes configurations pour optimiser le débit et la précision pour différentes tailles de filière, ce qui le rend très utile pour le test des plaquettes semi-conductrices.