Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293590192 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 200 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour le processus de fabrication de semi-conducteurs. Il fournit des mesures précises des dimensions critiques et de la topographie des substrats semi-conducteurs pour l'analyse des défaillances, l'optimisation et le développement des procédés, et le contrôle des procédés. Ce système d'inspection des plaquettes utilise la technologie de métrologie optique sans contact pour effectuer diverses mesures. Il est capable de mesurer le CD (dimension critique) à travers les plaquettes jusqu'à 0,3 um en résolution. Il utilise des techniques interférométriques pour fournir hauteur, rugosité de surface, uniformité CD, et mesures de profil. Par ailleurs, KLA ALPHASTEP 200 est une unité multi-canaux, permettant aux utilisateurs de séquencer simultanément diverses mesures sur un seul substrat ou plusieurs substrats. TENCOR ALPHA-STEP 200 dispose également d'un balayage automatisé à deux étages pour des mesures rapides et de grande précision des profils de bord des plaquettes. Ces mesures sont utilisées pour déterminer la planéité des plaquettes, la chaîne arrière et d'autres caractéristiques liées aux bords des plaquettes. En outre, la machine est capable de détecter les défauts et les anomalies dans les plaquettes, tels que les particules, les contaminants, ou d'autres caractéristiques qui violent les règles de processus. Cette fonctionnalité est essentielle pour l'analyse des échecs et l'optimisation des processus. KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200 est également équipé de la technologie SmartAlign, qui localise et compense automatiquement la déformation du substrat, le désalignement et la polarisation pendant le processus de mesure. Cela garantit un niveau plus élevé de précision et de répétabilité des mesures. En outre, l'outil peut stocker des milliers de programmes de mesure, permettant aux utilisateurs de basculer rapidement et facilement entre différentes séquences de test. ALPHASTEP 200 comprend un logiciel d'inspection des plaquettes convivial qui aide à simplifier le processus de déroulement du travail. Ce logiciel permet aux opérateurs de contrôler, configurer, analyser et enregistrer les données mesurées d'un processus particulier. Il permet également un reporting personnalisable et l'analyse des résultats, fournissant un aperçu des performances du processus de production. KLA Alpha Step 200 est hautement automatisé, ce qui permet aux opérateurs de gagner du temps. Il est conçu pour une utilisation dans un environnement de production 24/7, offrant fiabilité et performance même dans des conditions hostiles. Sa précision supérieure, sa capacité multi-canaux et sa technologie SmartAlign en font une solution idéale pour l'industrie des semi-conducteurs.
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