Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293602539 à vendre en France

KLA/TENCOR Alpha Step 200 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est utilisé pour mesurer les dimensions critiques, la rugosité et l'épaisseur de couche des composants microélectroniques et optoélectroniques. Le système est capable d'analyses optiques et de rayons X, et utilise la cartographie automatisée des plaquettes et l'analyse complète des défauts des plaquettes. Son réflectomètre optique Quantum (4D) combine polarisation, balayage spectral et angle pour offrir une flexibilité et une couverture maximales. Son appareil de radiographie utilise un portique à deux axes extensible pour recueillir des mesures à haute résolution rapidement et avec précision. KLA ALPHASTEP 200 est conçu pour réduire le temps d'analyse et les coûts associés en fournissant des informations provenant de multiples méthodes de collecte élémentaire. Il peut analyser une variété de formes de plaquettes, de circulaire à difficile d'accès aux trapézoïdes, et est également en mesure de recueillir des informations critiques multicouches avec une seule exécution. De plus, sa focalisation et son zoom automatisés s'adaptent optiquement pour acquérir les données nécessaires pour répondre aux spécifications du client. Les mesures de dimensions critiques (CD) de TENCOR ALPHA-STEP 200 peuvent être effectuées soit optiquement, soit avec des rayons X. L'option optique utilise une large gamme de grossissements et de directions d'éclairage variables, tandis que l'option X-Ray utilise une structure de portique deux axes extensible qui se déplace dynamiquement sur la surface de la plaquette. La machine à rayons X aide à atteindre une précision de 2-10nm et peut mesurer les caractéristiques jusqu'à 0,2 µm. Il peut également résoudre les différences de hauteur des murs de caractéristiques jusqu'à 5nm. KLA/TENCOR ALPHASTEP 200 est également capable de réaliser des mesures in situ d'épaisseur de couche (LT). Cette fonctionnalité est utilisée pour éviter les conversations croisées, les décolorations, ainsi que d'autres problèmes de fiabilité de l'appareil. De plus, sa carte de rugosité (R) utilise l'outil optique ou radiographique pour mesurer la rugosité moyenne crête-vallée à la surface de la plaquette. Dans l'ensemble, ALPHA-STEP 200 est un outil de test et de métrologie avancé pour la microélectronique et les composants optoélectroniques. Sa combinaison d'analyses optiques et de rayons X offre une gamme précise et complète de capacités. Ses fonctionnalités automatisées et l'analyse complète des défauts aident à réduire les coûts et offrent une compréhension supérieure des processus pour permettre des produits de haute qualité et fiables.