Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293792665 à vendre en France
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ID: 293792665
Surface profiler
Step height standard ranges:
17.48 KÅ
1.38 µm
VLSI Step height standard ranges:
17.46 KÅ
1.735 µm
Trace range: 10,000 µm
Stylus arm
Drive belt
LVDT
Memory
Speed control
CPU Boards
Linear bearings with tri-flow oil
PC.
KLA/TENCOR Alpha Step 200 est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour mesurer le profil, la planéité et la hauteur des marches des surfaces de plaquettes. Il utilise des technologies d'imagerie confocale et de triangulation laser pour fournir des mesures très précises du profil et de la hauteur de la plaquette. Le laser du système a une capacité de pas allant jusqu'à 200µm, ce qui lui permet de mesurer avec précision les caractéristiques fines de la surface et la hauteur des petits pas. KLA ALPHASTEP 200 a un pas linéaire motorisé qui déplace la plaquette selon l'axe z et assure un déplacement précis du laser dans le plan de la surface de la plaquette. En mesurant la position du laser par rapport à la surface, l'unité peut cartographier le profil des côtés avant et arrière de la plaquette. En outre, il peut mesurer les variations d'épaisseur et de planéité à travers la plaquette, ainsi que sur plusieurs filières. TENCOR ALPHA-STEP 200 comporte également une fonction de polarisation brevetée qui lui permet de mesurer simultanément les deux côtés de la plaquette. Ceci augmente le débit et améliore la précision de la machine. De plus, l'outil comprend des algorithmes avancés de reconnaissance et de réparation de motifs pour assurer des mesures précises dans des matériaux difficiles. ALPHASTEP 200 dispose d'une interface tactile conviviale, qui permet aux utilisateurs de configurer rapidement et facilement les paramètres de test et de surveiller le processus de test. En outre, il est compatible avec KLA METboard Software, qui permet aux utilisateurs de visualiser les résultats des tests, stocker des données et générer des rapports. Cela permet aux utilisateurs d'interpréter et d'analyser rapidement les résultats des tests. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR ALPHA-STEP 200 est un outil fiable et précis de test de plaquettes et de métrologie. Ses capacités rapides de reconnaissance de pas laser et de motifs, combinées à son interface conviviale et à son logiciel avancé, en font un outil idéal pour mesurer le profil, la planéité et les hauteurs de pas des plaquettes semi-conductrices.
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