Occasion KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9253861 à vendre en France
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KLA/TENCOR Alpha Step 200 est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'analyse de surface et de métrologie sans contact. Le système fonctionne avec une unité de traitement automatisée des plaquettes, un module AFM (Atomic Force Microscopy), un module optique et un logiciel. La machine automatisée de manutention des plaquettes est conçue pour manipuler des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre et utilise un mécanisme de bras robotisé et un outil de focalisation automatique. Cela le rend adapté à une large gamme de tailles et de matériaux de plaquettes. Le module AFM est utilisé pour l'analyse de surface de la plaquette et pour l'imagerie 3D et la cartographie. Il se compose d'un étage à deux axes motorisé, avec un microscope et un contrôleur intégrés. Ce module permet des mesures de surface précises avec une haute résolution et précision. Le module optique est conçu pour l'analyse de surface avec ou sans contact et possède également un atout d'imagerie haute résolution intégré dans celui-ci. Il a la capacité de mesurer l'épaisseur du film, la rugosité de surface et divers autres paramètres de métrologie tels que la microbalance du cristal de quartz. Ce modèle peut également effectuer des techniques d'analyse et de mesure optique telles que la microscopie confocale et la microscopie en champ sombre. Le logiciel associé à l'équipement donne aux utilisateurs accès à de puissantes fonctions d'analyse d'image, de reporting et de base de données. Il propose plusieurs modes de mesure adaptés à différentes applications et utilisations. La possibilité de sélectionner des paramètres logiciels tels que la résolution, la zone d'échantillonnage, la vitesse et les options de contraste rend ce système très polyvalent. Dans l'ensemble, KLA ALPHASTEP 200 fournit aux utilisateurs une unité de test et de métrologie fiable et précise. Sa combinaison de la manipulation automatisée des plaquettes, du module AFM, du module optique et des logiciels puissants permet aux utilisateurs d'effectuer un large éventail de tests, y compris l'analyse de surface, l'imagerie 3D, la caractérisation chimique et les mesures de film. Cette machine convient à la fois à la recherche et aux applications industrielles, ce qui en fait un excellent choix pour tout laboratoire cherchant à effectuer une métrologie précise des plaquettes.
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